Plasma Conference 2011

Nov.23(WED)



	9:00
	A 9:00-9:30　Plenary Talk 基調講演　23T1 パワーレーザーによる高エネルギー密度科学兒玉了祐(阪大) 司会：田中和夫(阪大) 9:30-10:00　Tutorial Talk 基調講演　23T2 極限プラズマ物理の最前線林　巧(原子力機構) 司会：小川雄一（東大) 10:00-10:30　Tutorial Talk 基調講演　23T3 イオンエネルギー制御による微細加工技術林　久貴((株)東芝) 司会：木下啓蔵（東北大)

	A 10:40-12:10 シンポジウム R3 BA IFERC-CSCに向けたシミュレーション研究の展望

	A 13:30-14:00 招待講演 23A01 高出力レーザーを用いた無衝突衝撃波生成実験坂和洋一（阪大）座長：重森啓介(阪大)

	A 14:00-14:30 招待講演 23A02 非中性プラズマを用いた低エネルギー反水素生成檜垣浩之（広島大）座長：重森啓介(阪大)

	A 14:30-15:10 一般講演 23A03 ビーム駆動電流における遮蔽因子の衝突率依存性 ○本多充1), 菊池満1), 安積正史2)（1）原子力機構, 2）AZM TechnoScience Soft） [プラ核若手]] 23A04 有限要素法によるトカマクプラズマ中の運動論的２次元波動伝播解析 ○丸山優一郎, 福山淳（京大工）] 座長：重森啓介(阪大)

	A 15:20-16:00 プラズマ・核融合学会　関連報告会司会；西村　新（常務理事、核融合研）

	A 16:15-16:50 ミニコンサート　朗読と歌で綴る「ミュージック・タペストリー・イン・音楽堂」　「よだかの星」(宮沢賢治原作）出演；石川公美（ソプラノ）、山田ゆかり（ピアノ）、河端紀和子（朗読）構成・脚色・演出：浅田和幸

	A 17:00-18:30 公開講演会「プラズマが拓くエネルギーの未来」講演１日本のエネルギーの未来と核融合有馬朗人（武蔵学園学園長，原子核物理学者・元文部大臣，東京大学名誉教授）司会：笹尾眞實子(東北大) 講演2 太陽光発電が拓く安全安心エネルギーの世界近藤道雄（AIST 太陽光発電研究センター長）司会：白谷正治(九大)

	■ 19:00-20:30 PLASMA2011懇親会 at ANAクラウンプラザホテル金沢

	B 10:40-11:20 日本物理学会領域2　運営会議

	B 11:50-16:00（13:50-14:10休憩）シンポジウム O3 新しいプラズマ科学技術：ライフイノベーションへの挑戦

	C 12:40-14:10 シンポジウム B1 超ペタスケールコンピューティングに向けたプラズマシミュレーションの新展開

	C 14:30-16:00 シンポジウム B2 宇宙利用のためのプラズマ工学とプラズマ理学の相互作用

	D 10:30-11:00 招待講演 23D01 MOCVD法による高機能被覆の大面積化菱沼良光（核融合研）座長；近藤正聡(東海大)

	D 11:00-12:00 一般講演 23D02-23D04 23D02 大気圧ミリ波プラズマの伝播速度制御とそのマイクロ波ロケットへの応用 ○山口敏和1), 武市天聖1), 福成雅史1), 小紫公也1), 小田靖久2), 梶原健2), 高橋幸司2), 坂本慶司2)（1)東大新領域, 2)原子力機構）[プラ核若手対象] 23D03 大気圧負イオンプラズマ現象の誘電特性解析 ○酒井道,平岡悠,占部継一郎(京大院工) 23D04 インフライト処理に用いる多相交流アークの放電特性 ○田中学，劉雅萍，鶴岡洋佑，池場友樹，松浦次雄，渡辺隆行（東工大院総理工）座長：近藤正聡(東海大)

	D 12:10-13:30 一般講演 23D05-23D08 23D05 LHDにおける共鳴摂動磁場のプラズマ応答 ○榊原　悟, 鈴木康浩, 居田克巳, 渡邊清政, 成嶋吉朗, 武村勇輝2), 大舘暁, 山田一博, 田中謙治, 徳沢季彦, 山田弘司, LHD実験グループ（核融合研、総研大） 23D06 LHD実験における水素ペレットの侵入長に対する高速イオンの影響 ○松山顕之1), 坂本隆一1), Bernard Pegourie2), 本島厳1), Jyoti Shankar Mishra3), 山田弘司1)（核融合研1), CEA IRFM2), 総研大3) [プラ核若手対象] 23D07 LHDにおける電極バイアスによる閉じ込め改善モード遷移に対する磁場リップル構造依存性 ○高橋裕己1), 北島純男2), 石井啓一2), 菅野守2), 佐藤優2), 立花丈2), 増崎貴1), 庄司主1), 芦川直子1), 時谷政行1), 横山雅之1), 鈴木康浩1), 佐竹真介1), 稲垣滋3), 笹尾眞實子2)（1)核融合研, 2)東北大院量子, 3)九大応力研）[プラ核若手対象] 23D08 LHD高電子温度CERCプラズマにおける両極性径電場について ○松岡清吉1), 佐竹真介1), 若狭有光2), 高橋裕己1), 横山雅之1), 下妻隆1), 井戸毅1), 清水昭博1)（1)核融合研, 2)京大工）[プラ核若手対象] 座長：森崎友宏(核融合研)

	D 12:10-13:30 一般講演 23D09-23D13 23D09 LHDにおける電子バーンシュタイン波加熱のためのEC波高磁場側入射 ○吉村泰夫, 久保伸, 下妻隆, 伊神弘恵, 高橋裕己, 西浦正樹, 小笠原慎哉, 牧野良平, 武藤敬, 山田弘司, 小森彰夫（核融合研） 23D10 LHDにおける荷電交換分光計測による高速イオン閉じ込めの実験的評価 ○伊藤隆文1), 長壁正樹1),居田克己 1), 吉沼幹朗1), 小林政弘1), 後藤基志1), 村上定義2), 磯部光孝1), 關良輔1), 小林進二3), 東井和夫1), LHD実験グループ1)（1)核融合研, 2)京大工, 3)京大エネ研）[プラ核若手対象] 23D11 LHDにおける高速イオン励起されたn=0モードとそのバルクイオンに対する影響 ○長壁正樹1),伊藤隆文1),小川国大3)4),磯部光孝1)2),東井和夫1)3),井戸毅1)3),清水昭博1),久保伸1)3),永岡賢一1),竹入康彦1)2), LHD実験グループ1)（1)核融合研, 2)総研大, 3)名大, 4)学振） 23D12 LHD高密度プラズマにおける外部摂動磁場による不純物流入の抑制 ○中村幸男、森崎友宏、大山公治、田村直樹、B.J. Peterson、小林政弘、坂本隆一、本島　厳（核融合研） 23D13 低磁気シアヘリカルプラズマにおける高速イオン励起MHD不安定性研究 ○山本聡1), 小林進二1), 大島慎介2), 諏訪勝重3), 安田圭佑3), E. Ascasibar4), J. Ruben4), A. Weller5), 永岡賢一6), D. Spong7), 長崎百伸1), 水内亨1), 岡田浩之1), 南貴司1), 中村祐司3), 花谷清1), 木島滋1), 佐野史道1)（京大エネ研1）, 京大学際融合2）, 京大エネ科3）, CIEMAT4）, IPP5）, 核融合研6）, ORNL7））座長：坂本慶司 (原子力機構)

	E 12:00-13:30 シンポジウム P2 核融合中性子の利用とハイブリット炉の評価

	E 13:50-15:50 一般講演 23E01-23E06 23E01 　衝突輻射モデルに関する常微分方程式論的考察〜安定性と過渡応答 ○赤塚洋（東工大原子炉研） 23E02 発光分光法を用いたICPアンテナ近傍の高エネルギー電子空間分布計測 ○大池匠1),石島達夫2),豊田浩孝1)2)（1)名大工,2)名大プラズマナノ） 23E03 パルスコロナ放電進展時の電界計測 ○八木一平1)，小野亮1),小田哲治2),高木浩一3)（1)東大新領域，2)東大工，3)岩手大工） 23E04 触媒活性化に向けたハニカム内放電技術の開発 ○鈴木智也,林秀明,栗田弘史,高島和則,水野彰（豊橋技科大） 23E05 プラズマ電子アブレーション法の開発 ○伴野達也（東大工） 23E06 Thermal Plasma Characterization on Long DC Arc Discharge for Waste Treatment ○Sooseok Choi1)2), TianMing Li1), Watanabe Takayuki1), Takashi Nakayama3), and Koji Otsuki3) (1)Tokyo Institute of Technology, 2)Seoul National University, Republic of Korea, 3)Clean Technology Co., Ltd.) 座長：佐々木浩一 (北大)

	F 13:20-14:20 一般講演 23F01-23F03 23F01 磁場重畳型MPDアークジェットに対する磁気ノズル形状効果 ○高橋直大,橋間裕子,大川耕平,渡部博,伊澤裕紀,田中のぞみ,安藤晃（東北大院工）1 23F02 磁化プラズマ中電子温度勾配モードに対するガス圧力の効果 ○文贊鎬，金子俊郎，畠山力三（東北大院工） 23F03 磁気リコネクション研究のための多階層シミュレーションモデルの開発 IV ○宇佐見俊介1), 大谷寛明1), 堀内利得1), 田光江2)（1)核融合研, 2)情報通信研究機構）座長：西田浩之（東京農工大）

	F 14:40-16:00 一般講演 23F04-23F07 23F04 アルフェン乱流中の平衡分布と「見かけの」温度 ○成行泰裕（高知高専） 23F05 パルサー星雲における乱流リコネクション ○高本亮1),犬塚修一郎2)（1)京大院理,2)名大院理） 23F06 銀河円盤・降着円盤ダイナモの３次元磁気流体数値実験 ○松元亮治1), 町田真美2),朝比奈雄太1),小川崇之1),小野貴史1),工藤祐己1)（1)千葉大理,2)九大理） 23F07 プラズマ合体実験における高速磁気リコネクションの発現 ○井通暁1),林由記2)、田辺博士1)、桑波田晃弘2)、高博シン2)、小野靖1)（1)東大院新領域、2)東大院工）座長：堀内利得（核融合研）

	G 12:00-13:20 一般講演 23G01-23G04 23G01 新開発の差動排気型２元同時成膜装置による酸化物／窒化物系ナノコンポジット膜の作製 ○野瀬正照1), 高畠浩史2), 川畑常眞3), 松田健二3),ウェン・アン　チョウ4)（1) 富大芸文, 2)富大工（院生）, 3)富大工, 4) メリーランド大ナノセンター） 23G02 酢酸亜鉛を用いたプラズマ支援ミストCVDによる酸化亜鉛薄膜の形成 ○竹中弘祐, 奥村祐介, 節原裕一（阪大接合研） 23G03 低温プラズマ異方性CVDを用いた微細トレンチ上面への自己組織カーボンマスク形成 ○古閑一憲1), 浦川達也1), 内田儀一郎1), 鎌滝晋礼1), 板垣奈穂1), 白谷正治1)4), 節原裕一2)4), 関根誠3)4), 堀勝3)4)（1)九大, 2)阪大, 3)名大, 4)JST CREST） 23G04 マイクロ波励起・高密度プラズマによる超高速DLC成膜プロセスの開発岡本隆志, 高岡泰之, ○上坂裕之, 梅原徳次（名大）座長；木下啓蔵(東北大)・垣内弘章(阪大)

	G 13:40-16:00 一般講演 23G05-23G11 23G05 大気圧ヘリウムプラズマジェット中におけるNOの2次元分布計測 ○米森星矢1)，寺本慶之1)，小野亮1)，小田哲治2)（東大新領域1)，東大工2)） 23G06 プラズマ照射された金属複合材の熱伝導解析 ○松浦寛人1),大山亮平2),昭太朗2),A.ルシノフ2),坂本瑞樹3)（1)阪府大地域連携研究機構,2)九大総理工,3)筑波大プラズマ） 23G07 光干渉計を用いたプラズマプロセス中の非接触ウエハ温度モニタリング ○太田貴之1),堤隆嘉2),伊藤昌文1),堀勝3)（1)名城大, 2)和歌山大, 3)名大） 23G08 Spatial and Temporal Analysis of Microplasma Light Emission ○Marius Blajan and Kazuo Shimizu（Innovation and Joint Research Center, Shizuoka Univ.） 23G09 O₂/Ar非平衡大気圧プラズマにおける活性種の3次元気相反応解析 ○加藤正規, 竹田圭吾, 石川健治, 近藤博基, 関根誠, 堀勝（名大院工） 23G10 誘導結合窒素プラズマのアフターグローにおける活性粒子の寿命 ○堀川佳峰1), 林俊雄2), 佐々木浩一3)（1)北大工, 2)名大プラズマナノ, 3)北大工） 23G11 BCl₃混合プラズマの気相診断とモデリング ○佐藤聖太, 仲村恵右, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一（京大院工）座長；高橋和生（京都工繊大）・荒巻光利（名大）

	P 17:30-18:30 ポスター発表 P1会場：23P001-O〜23P144-B P2会場：23P145-R〜23P179-B

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	9:00
	A 9:00-9:30　Plenary Talk 基調講演　23T1 パワーレーザーによる高エネルギー密度科学兒玉了祐(阪大) 司会：田中和夫(阪大) 9:30-10:00　Tutorial Talk 基調講演　23T2 極限プラズマ物理の最前線林　巧(原子力機構) 司会：小川雄一（東大) 10:00-10:30　Tutorial Talk 基調講演　23T3 イオンエネルギー制御による微細加工技術林　久貴((株)東芝) 司会：木下啓蔵（東北大)

	A 10:40-12:10 シンポジウム R3 BA IFERC-CSCに向けたシミュレーション研究の展望

	A 13:30-14:00 招待講演 23A01 高出力レーザーを用いた無衝突衝撃波生成実験坂和洋一（阪大）座長：重森啓介(阪大)

	A 14:00-14:30 招待講演 23A02 非中性プラズマを用いた低エネルギー反水素生成檜垣浩之（広島大）座長：重森啓介(阪大)

	A 14:30-15:10 一般講演 23A03 ビーム駆動電流における遮蔽因子の衝突率依存性 ○本多充1), 菊池満1), 安積正史2)（1）原子力機構, 2）AZM TechnoScience Soft） [プラ核若手]] 23A04 有限要素法によるトカマクプラズマ中の運動論的２次元波動伝播解析 ○丸山優一郎, 福山淳（京大工）] 座長：重森啓介(阪大)

	A 15:20-16:00 プラズマ・核融合学会　関連報告会司会；西村　新（常務理事、核融合研）

	A 16:15-16:50 ミニコンサート　朗読と歌で綴る「ミュージック・タペストリー・イン・音楽堂」　「よだかの星」(宮沢賢治原作）出演；石川公美（ソプラノ）、山田ゆかり（ピアノ）、河端紀和子（朗読）構成・脚色・演出：浅田和幸

	A 17:00-18:30 公開講演会「プラズマが拓くエネルギーの未来」講演１日本のエネルギーの未来と核融合有馬朗人（武蔵学園学園長，原子核物理学者・元文部大臣，東京大学名誉教授）司会：笹尾眞實子(東北大) 講演2 太陽光発電が拓く安全安心エネルギーの世界近藤道雄（AIST 太陽光発電研究センター長）司会：白谷正治(九大)

	■ 19:00-20:30 PLASMA2011懇親会 at ANAクラウンプラザホテル金沢

	B 10:40-11:20 日本物理学会領域2　運営会議

	B 11:50-16:00（13:50-14:10休憩）シンポジウム O3 新しいプラズマ科学技術：ライフイノベーションへの挑戦

	C 12:40-14:10 シンポジウム B1 超ペタスケールコンピューティングに向けたプラズマシミュレーションの新展開

	C 14:30-16:00 シンポジウム B2 宇宙利用のためのプラズマ工学とプラズマ理学の相互作用

	D 10:30-11:00 招待講演 23D01 MOCVD法による高機能被覆の大面積化菱沼良光（核融合研）座長；近藤正聡(東海大)

	D 11:00-12:00 一般講演 23D02-23D04 23D02 大気圧ミリ波プラズマの伝播速度制御とそのマイクロ波ロケットへの応用 ○山口敏和1), 武市天聖1), 福成雅史1), 小紫公也1), 小田靖久2), 梶原健2), 高橋幸司2), 坂本慶司2)（1)東大新領域, 2)原子力機構）[プラ核若手対象] 23D03 大気圧負イオンプラズマ現象の誘電特性解析 ○酒井道,平岡悠,占部継一郎(京大院工) 23D04 インフライト処理に用いる多相交流アークの放電特性 ○田中学，劉雅萍，鶴岡洋佑，池場友樹，松浦次雄，渡辺隆行（東工大院総理工）座長：近藤正聡(東海大)

	D 12:10-13:30 一般講演 23D05-23D08 23D05 LHDにおける共鳴摂動磁場のプラズマ応答 ○榊原　悟, 鈴木康浩, 居田克巳, 渡邊清政, 成嶋吉朗, 武村勇輝2), 大舘暁, 山田一博, 田中謙治, 徳沢季彦, 山田弘司, LHD実験グループ（核融合研、総研大） 23D06 LHD実験における水素ペレットの侵入長に対する高速イオンの影響 ○松山顕之1), 坂本隆一1), Bernard Pegourie2), 本島厳1), Jyoti Shankar Mishra3), 山田弘司1)（核融合研1), CEA IRFM2), 総研大3) [プラ核若手対象] 23D07 LHDにおける電極バイアスによる閉じ込め改善モード遷移に対する磁場リップル構造依存性 ○高橋裕己1), 北島純男2), 石井啓一2), 菅野守2), 佐藤優2), 立花丈2), 増崎貴1), 庄司主1), 芦川直子1), 時谷政行1), 横山雅之1), 鈴木康浩1), 佐竹真介1), 稲垣滋3), 笹尾眞實子2)（1)核融合研, 2)東北大院量子, 3)九大応力研）[プラ核若手対象] 23D08 LHD高電子温度CERCプラズマにおける両極性径電場について ○松岡清吉1), 佐竹真介1), 若狭有光2), 高橋裕己1), 横山雅之1), 下妻隆1), 井戸毅1), 清水昭博1)（1)核融合研, 2)京大工）[プラ核若手対象] 座長：森崎友宏(核融合研)

	D 12:10-13:30 一般講演 23D09-23D13 23D09 LHDにおける電子バーンシュタイン波加熱のためのEC波高磁場側入射 ○吉村泰夫, 久保伸, 下妻隆, 伊神弘恵, 高橋裕己, 西浦正樹, 小笠原慎哉, 牧野良平, 武藤敬, 山田弘司, 小森彰夫（核融合研） 23D10 LHDにおける荷電交換分光計測による高速イオン閉じ込めの実験的評価 ○伊藤隆文1), 長壁正樹1),居田克己 1), 吉沼幹朗1), 小林政弘1), 後藤基志1), 村上定義2), 磯部光孝1), 關良輔1), 小林進二3), 東井和夫1), LHD実験グループ1)（1)核融合研, 2)京大工, 3)京大エネ研）[プラ核若手対象] 23D11 LHDにおける高速イオン励起されたn=0モードとそのバルクイオンに対する影響 ○長壁正樹1),伊藤隆文1),小川国大3)4),磯部光孝1)2),東井和夫1)3),井戸毅1)3),清水昭博1),久保伸1)3),永岡賢一1),竹入康彦1)2), LHD実験グループ1)（1)核融合研, 2)総研大, 3)名大, 4)学振） 23D12 LHD高密度プラズマにおける外部摂動磁場による不純物流入の抑制 ○中村幸男、森崎友宏、大山公治、田村直樹、B.J. Peterson、小林政弘、坂本隆一、本島　厳（核融合研） 23D13 低磁気シアヘリカルプラズマにおける高速イオン励起MHD不安定性研究 ○山本聡1), 小林進二1), 大島慎介2), 諏訪勝重3), 安田圭佑3), E. Ascasibar4), J. Ruben4), A. Weller5), 永岡賢一6), D. Spong7), 長崎百伸1), 水内亨1), 岡田浩之1), 南貴司1), 中村祐司3), 花谷清1), 木島滋1), 佐野史道1)（京大エネ研1）, 京大学際融合2）, 京大エネ科3）, CIEMAT4）, IPP5）, 核融合研6）, ORNL7））座長：坂本慶司 (原子力機構)

	E 12:00-13:30 シンポジウム P2 核融合中性子の利用とハイブリット炉の評価

	E 13:50-15:50 一般講演 23E01-23E06 23E01 　衝突輻射モデルに関する常微分方程式論的考察〜安定性と過渡応答 ○赤塚洋（東工大原子炉研） 23E02 発光分光法を用いたICPアンテナ近傍の高エネルギー電子空間分布計測 ○大池匠1),石島達夫2),豊田浩孝1)2)（1)名大工,2)名大プラズマナノ） 23E03 パルスコロナ放電進展時の電界計測 ○八木一平1)，小野亮1),小田哲治2),高木浩一3)（1)東大新領域，2)東大工，3)岩手大工） 23E04 触媒活性化に向けたハニカム内放電技術の開発 ○鈴木智也,林秀明,栗田弘史,高島和則,水野彰（豊橋技科大） 23E05 プラズマ電子アブレーション法の開発 ○伴野達也（東大工） 23E06 Thermal Plasma Characterization on Long DC Arc Discharge for Waste Treatment ○Sooseok Choi1)2), TianMing Li1), Watanabe Takayuki1), Takashi Nakayama3), and Koji Otsuki3) (1)Tokyo Institute of Technology, 2)Seoul National University, Republic of Korea, 3)Clean Technology Co., Ltd.) 座長：佐々木浩一 (北大)

	F 13:20-14:20 一般講演 23F01-23F03 23F01 磁場重畳型MPDアークジェットに対する磁気ノズル形状効果 ○高橋直大,橋間裕子,大川耕平,渡部博,伊澤裕紀,田中のぞみ,安藤晃（東北大院工）1 23F02 磁化プラズマ中電子温度勾配モードに対するガス圧力の効果 ○文贊鎬，金子俊郎，畠山力三（東北大院工） 23F03 磁気リコネクション研究のための多階層シミュレーションモデルの開発 IV ○宇佐見俊介1), 大谷寛明1), 堀内利得1), 田光江2)（1)核融合研, 2)情報通信研究機構）座長：西田浩之（東京農工大）

	F 14:40-16:00 一般講演 23F04-23F07 23F04 アルフェン乱流中の平衡分布と「見かけの」温度 ○成行泰裕（高知高専） 23F05 パルサー星雲における乱流リコネクション ○高本亮1),犬塚修一郎2)（1)京大院理,2)名大院理） 23F06 銀河円盤・降着円盤ダイナモの３次元磁気流体数値実験 ○松元亮治1), 町田真美2),朝比奈雄太1),小川崇之1),小野貴史1),工藤祐己1)（1)千葉大理,2)九大理） 23F07 プラズマ合体実験における高速磁気リコネクションの発現 ○井通暁1),林由記2)、田辺博士1)、桑波田晃弘2)、高博シン2)、小野靖1)（1)東大院新領域、2)東大院工）座長：堀内利得（核融合研）

	G 12:00-13:20 一般講演 23G01-23G04 23G01 新開発の差動排気型２元同時成膜装置による酸化物／窒化物系ナノコンポジット膜の作製 ○野瀬正照1), 高畠浩史2), 川畑常眞3), 松田健二3),ウェン・アン　チョウ4)（1) 富大芸文, 2)富大工（院生）, 3)富大工, 4) メリーランド大ナノセンター） 23G02 酢酸亜鉛を用いたプラズマ支援ミストCVDによる酸化亜鉛薄膜の形成 ○竹中弘祐, 奥村祐介, 節原裕一（阪大接合研） 23G03 低温プラズマ異方性CVDを用いた微細トレンチ上面への自己組織カーボンマスク形成 ○古閑一憲1), 浦川達也1), 内田儀一郎1), 鎌滝晋礼1), 板垣奈穂1), 白谷正治1)4), 節原裕一2)4), 関根誠3)4), 堀勝3)4)（1)九大, 2)阪大, 3)名大, 4)JST CREST） 23G04 マイクロ波励起・高密度プラズマによる超高速DLC成膜プロセスの開発岡本隆志, 高岡泰之, ○上坂裕之, 梅原徳次（名大）座長；木下啓蔵(東北大)・垣内弘章(阪大)

	G 13:40-16:00 一般講演 23G05-23G11 23G05 大気圧ヘリウムプラズマジェット中におけるNOの2次元分布計測 ○米森星矢1)，寺本慶之1)，小野亮1)，小田哲治2)（東大新領域1)，東大工2)） 23G06 プラズマ照射された金属複合材の熱伝導解析 ○松浦寛人1),大山亮平2),昭太朗2),A.ルシノフ2),坂本瑞樹3)（1)阪府大地域連携研究機構,2)九大総理工,3)筑波大プラズマ） 23G07 光干渉計を用いたプラズマプロセス中の非接触ウエハ温度モニタリング ○太田貴之1),堤隆嘉2),伊藤昌文1),堀勝3)（1)名城大, 2)和歌山大, 3)名大） 23G08 Spatial and Temporal Analysis of Microplasma Light Emission ○Marius Blajan and Kazuo Shimizu（Innovation and Joint Research Center, Shizuoka Univ.） 23G09 O₂/Ar非平衡大気圧プラズマにおける活性種の3次元気相反応解析 ○加藤正規, 竹田圭吾, 石川健治, 近藤博基, 関根誠, 堀勝（名大院工） 23G10 誘導結合窒素プラズマのアフターグローにおける活性粒子の寿命 ○堀川佳峰1), 林俊雄2), 佐々木浩一3)（1)北大工, 2)名大プラズマナノ, 3)北大工） 23G11 BCl₃混合プラズマの気相診断とモデリング ○佐藤聖太, 仲村恵右, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一（京大院工）座長；高橋和生（京都工繊大）・荒巻光利（名大）

	P 17:30-18:30 ポスター発表 P1会場：23P001-O〜23P144-B P2会場：23P145-R〜23P179-B

全体時間割

特別講演

ポスター発表

そのほか

Nov.23(WED)