最終更新日 04.12.20 Ver.24
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シンポジウム


I. リソグラフィー用EUV光源の開発 

1/26(水) 13:25-15:05 ウイルホール
座長:秋山秀典

S1-1 リソグラフィー用EUV光源開発 

豊田浩一
(極端紫外線露光システム技術開発機構)

S1-2 放電プラズマEUV光源開発研究 

勝木 淳(熊本大学)

S1-3 レーザープラズマEUV光源開発研究 

西村博明(大阪大学)

S1-4 EUV光源プラズマのレーザー散乱計測 

内野喜一郎(九州大学)



II. 核融合プラズマ研究から学術・産業応用研究へのメッセージ 

1/26(水)  13:25-15:05 大会議室
座長:岡村昇一(核融合研)

S2-1 磁場核融合プラズマの乱流理論が展開する学術 

伊藤公孝(核融合科学研究所)

S2-2 超高強度レーザー核融合の展開するフロンティア科学 

三間圀興(大阪大学)

S2-3 核融合プラズマ加熱技術のフロンティア科学への展開 

坂本慶司(日本原子力研究所)

S2-4 核融合プラズマシミュレーションと次世代計算科学 

林 隆也(核融合科学研究所)



III. マイクロ波放電プラズマの新潮流 

1/27(木) 9:20-11:00 ウイルホール
座長:神藤正士(静岡大)

S3-1 微小ギャップにより生成される高密度大気圧非平衡プラズマの特性と応用

河野明廣(名古屋大学)

S3-2 マイクロ波プラズマの滅菌応用 

永津雅章(静岡大学)

S3-3 マイクロ波プラズマによるダイヤモンド膜の合成と応用 

小橋宏司
(株)神戸製鋼所

S3-4 大気圧マイクロ波プラズマシステムと応用 

藤井修逸
(株)アドテックプラズマテクノロジー



IV.プラズマ・壁相互作用の複雑な物理・化学

1/27(木) 9:20-11:00 大会議室
座長:高村秀一(名大)

S4-1 核融合プラズマ装置のプラズマ・炭素系物質相互作用に関する諸課題 

大野哲靖(名古屋大学)

S4-2 MDシミュレーションによる化学スパッタリングの物理機構解析 

浜口智志(大阪大学)

S4-3 核融合プラズマ装置における炭素不純物の発生と輸送 

久保博孝(日本原子力研究所)

S4-4 核融合プラズマ装置における共堆積層の形成とグローバルな壁排気への効果

坂本瑞樹(九州大学)



V.負イオンの生成と応用

1/27(木) 15:50-17:30 ウイルホール
座長:金子 修(核融合研)

S5-1 大電流負イオン注入によるナノ粒子・光学材料の生成と制御

 岸本直樹(物質・材料研究機構)

S5-2 プラズマ中における酸素および塩素負イオンの表面反応と半導体プロセスへの応用

進藤春雄(東海大学)

S5-3 水素負イオンの体積生成と計測 

福政 修(山口大学)

S5-4 NBI用水素負イオン源での大電力ビームの生成 

津守克嘉(核融合科学研究所)



VI.プラズマが関与する多彩な構造形成

1/27(木) 15:50-17:30 大会議室
座長:岸本泰明(京大)

S6-1 生体高分子の強い静電気力による構造形成 

田中基彦(核融合科学研究所)

S6-2 セミマクロなダスト系プラズマの構造形成と制御 

石原 修(横浜国立大学)

S6-3 プラズマ渦形成の起源と構造の解明 

田中雅慶(核融合科学研究所)

S6-4 マクロな核融合プラズマにおける流れと構造形成

藤澤彰英(核融合科学研究所)



VII.プラズマ材料科学研究を刺激する炭素の面白さ

1/28(金) 9:20-10:35 ウイルホール
座長:畠山力三(東北大)

S7-1 プラズマ科学視点のフラーレン・ナノチューブ研究 

畠山力三(東北大学)

S7-2 プラズマを用いるナノ結晶炭素構造体研究の新展開 

長谷川雅考(産業技術総合研究所)

S7-3 プラズマプロセスによる有機系低誘電率材料開発

木下啓藏(半導体MIRAIプロジェクト)



VIII.プラズマの新しい計測モニタリング

1/28(金) 14:30-16:35 ウイルホール
座長:河野明廣(名大)

S8-1 アルゴンリュドベリ状態のレーザーシュタルク分光による超高感度シース電界計測

佐々木浩一(名古屋大学)

S8-2 高精度プラズマプロセスのためのオンウエハーモニタリング 

寒川誠二(東北大学)

S8-3 表面波プローブによる高感度電子密度モニタリング 

中村圭二(中部大学)

S8-4 位相共役鏡支援によるプラズマのレーザー計測 

中塚正大(大阪大学)

S8-5 マイクロ波反射法の反応性プラズマ計測への応用 

間瀬 淳(九州大学)



IX.宇宙における相対論的プラズマ

1/28(金) 14:30-16:10 大会議室
座長:柴田晋平(山形大)

S9-1 プラズマ中での高エネルギー粒子加速 

星野真弘(東京大学)

S9-2 宇宙相対論プラズマ現象の超高強度レーザーによる模擬実験の可能性 

高部英明(大阪大学)

S9-3 ブラックホール磁気圏のプラズマの数値実験 

小出眞路(富山大学)

S9-4 ブラックホール磁気圏と定常MHD流 

冨松 彰(名古屋大学)



X.マイクロプラズマの新しい物理と応用

1/28(金) 16:45-18:00 ウイルホール
座長:橘 邦英(京大)

S10-1 マイクロプラズマの生成と制御 

石井彰三(東京工業大学)

S10-2 マイクロプラズマの診断とモデリング 

橘 邦英(京都大学)

S10-3 マイクロプラズマの新規応用 

寺嶋和夫(東京大学)



XI.宇宙環境と宇宙天気

1/28(金) 16:20-18:00 大会議室
座長:荻野龍樹(名大)

S11-1 地球環境変動の源としての太陽活動 

柴田一成(京都大学)

S11-2 磁気圏プラズマにおけるスケール間結合 

斉藤義文(宇宙航空研究開発機構)

S11-3 磁気圏−電離圏−熱圏領域間結合

藤井良一(名古屋大学)

S11-4 衛星障害と宇宙環境 宇宙天気と衛星障害警報 

五家建夫(宇宙航空研究開発機構)

 



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初回作成日:2004.9.14