プラズマ・核融合学会誌
Vol.90 No.1〜3(2014年)連載
本講座では,プラズマによる合成を利用した産業応用をめざす炭素材料として,ダイヤモンド状炭素,ダイヤモンド,グラフェンについて,その合成技術開発の現状と,具体的な課題についてまとめる.
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「プラズマプロセスを用いた炭素材料合成の実際と産業利用における課題」
1.はじめに
山田英明
2.DLC成膜プロセス研究の最前線
上坂裕之
3.プラズマCVDによる単結晶ダイヤモンド合成の現状と課題
山田英明
4.グラフェンの低温プラズマCVDと透明電極応用へのロードマップ
長谷川雅考、石原正統、山田貴壽、沖川侑揮
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