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11/11
電子メールにて講演番号を通知しました注1）◯は発表者です
注2）現在Tex表記されているものは，掲載時にはちゃんと直ります．
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プラズマの基礎・素過程 －（その１）－ |
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P1-001 |
時間平均微粒子駆動法によるプラズマ中微粒子の集団構造形成 |
作田和磨，◯飯塚 哲 |
東北大院工 |
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P1-002 |
電子プラズマに中性プラズマを入射することによる2流体プラズマ生成の試行実験 |
○和田篤始，栗原智成，矢野義久，比村治彦 |
東大新領域 |
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P1-003 |
ヘリカル系における電子プラズマ |
○若林英紀1)，比村治彦1)，磯部光孝2)， 岡村昇一2) |
1)東大新領域，2)核融合研 |
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P1-004 |
精密サイズ連続可変式ペレット入射装置の開発および中性粒子雲遮蔽モデルによる数値解析 |
○市薗啓太1)，釘宮 聡1)，佐藤浩之助2)，TRIAM実験グループ2) |
1)九大総理工，2)九大応力研 |
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P1-005 |
非中性プラズマの渦糸ダイナミックスの粒子シミュレーション |
○立脇正章，岸本泰明 |
京大エネ科 |
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P1-006 |
イオン流中の有限サイズの微粒子へのイオン流入に関する考察 |
○眞銅雅子，石原 修 |
横浜国大院工 |
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P1-007 |
紫外線照射によって非等方的な強結合状態を持つ微粒子プラズマの生成 |
○三沢達也，大津康徳，藤田寛治 |
佐賀大理工 |
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P1-008 |
微粒子の大気中帯電、閉じ込めと統計 |
○庄司多津男1)，平岡佑一2)，柳生英昭3)，坂和洋一1) |
1)名大工，2)ウシオ電機，3)マスプロ電工 |
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P1-009 |
Dusty plasma in the dc glow discharge striations |
○M.Y. Pustylnik 1), V.M. Torchinsky 2), V.N. Naumkin 2), V.I.Molotkov 2), A.G. Khrapak 2), A.V. Chernyshev 2), O.F. Petrov 2), V.E. Fortov 2) |
1) Nagoya University, 2) Institute for High Energy Densities, Russian Academy of Sciences |
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P1-010 |
「プラズマ端」および「シース端」の概念を用いたプラズマ境界領域の構造の整理 |
○河野明廣 |
名大工 |
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P1-011 |
2次元プラズマフォトニック結晶における導波路シミュレーション |
○内田直人1)，北條仁士1)，嶋村亮宏1)，間瀬 淳2） |
1)筑波大プラ研，2)九大産学連携セ |
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P1-012 |
低周波電磁揺動のパワースペクトルと近平衡状態におけるエネルギー輸送 |
○樋田美栄子，吉谷崇志，大澤幸治 |
名大理 |
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P1-013 |
レーザー物質相互作用／放電・雷現象探求のための統合化粒子シミュレーションコード（EPIC3D） |
○岸本泰明1,2)，正木知宏2) |
1)京大エネ科，2)原研 |
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P1-014 |
二電子温度プラズマへの高強度レーザー入射に伴う誘導電子音波散乱 |
○石黒静児，李 百文 |
核融合研 |
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P1-015 |
レーザー・プラズマ相互作用におけるプロトン加速および局所的電子群による横方向のプロトン散乱の抑制 |
○宮崎修司，園部 遼，菊池崇志，川田重夫 |
宇都宮大院工 |
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P1-016 |
LHDで測定したXe<sup>10+</sup>イオンからのEUVスペクトル |
○小原朋幸1),加藤隆子2),加藤太治2),リチャードモア2),佐藤国憲2),船場久芳2),森田 繁2),西村博明3),西原功修3),佐々木明4),山本則正5),ウルヤナサフラノーバ6) |
1)総研大，2)核融合研，3)阪大レーザー研，4)原研関西，5)立教大，6)ネバダ大 |
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P1-017 |
ＶＵＶ光源応用をめざしたストリップラインによるマイクロＥＣＲプラズマの生成 |
○山田宗多，河野明廣，荒巻光利 |
名大 |
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P1-018 |
小型の無電極マイクロ波放電ランプの発光特性 |
○小野田幸央1)，志藤雅也2)，神藤正士3) |
１）静大院理工，２）静大院電子科学，３）静大工 |
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プラズマの診断・計測 －（その１）－ |
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P1-019 |
ISTTOK のTokamak およびETE のspheromak のための診断を分散させる繊維光学改善されたThomson |
○M. Alonso1)3), L. Berni 2) , C. Varandas3), K. Ebihara1) |
1)KumamotoUniversity，2)LAP-INPE，3)Association EURATOM-IST |
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P1-020 |
Arプラズマのレーザートムソン散乱計測におけるAr準安定原子の影響 |
○崔 秀明，荒巻光利，河野明廣 |
名大 |
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P1-021 |
レーザートムソン散乱法による表面波プラズマ誘電体近傍の高エネルギー電子の探索 |
○小林淳也，スタマテ エウジェン，荒巻光利，河野明廣，菅井秀郎 |
名大 |
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P1-022 |
レーザートムソン散乱法を用いた低温再結合プラズマの電子温度計測システムの開発 |
○岡本 敦1)，門信一郎1)，福沢範行2)，梶田 信2)，四竈泰一2)，飯田洋平2)，山崎大輔2)，大石鉄太郎2)，田中 知2) |
1)東大高温プラズマ， 2)東大院工 |
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P1-023 |
レーザーラマン散乱を用いた低圧プラズマ診断 |
○大月高実，荒巻光利，河野明廣 |
名大 |
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P1-024 |
負イオンの光脱離断面積測定装置の試作 |
○須増 寛,荒巻光利,河野明廣 |
名大 |
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P1-025 |
エクリプスレーザー光脱離法による負イオンを含むプラズマの診断 |
○門 信一郎1)，梶田 信2)，岡本 敦1)，四竈泰一2)，飯田洋平2)，山崎大輔2)，大石鉄太郎2)，田中 知2) |
1)東大高温プラズマ, 2)東大院工 |
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P1-026 |
レーザー誘起蛍光法と発光分光法による窒素原子計測 |
○栗原一彰1)，佐々木浩一2) |
1)東芝研開セ，２）名大工 |
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P1-027 |
SiH4/N2ガスにおけるVHF-CCP中のSi原子の挙動 |
○太田貴之1），石田哲朗2），伊藤昌文1），堀 勝2），川上 聡3） |
１）和歌山大，２）名古屋大，３）東京エレクトロンAT |
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P1-028 |
マグネトロンスパッタリングプラズマ中の金属原子密度・速度２次元分布計測 |
○高 軍思，ナファリザル，佐々木浩一，豊田浩孝，岩田 聡，加藤剛志，綱島 滋，菅井秀郎 |
名大工 |
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P1-029 |
体積生成型負イオン源中の負イオン密度・電子エネルギー分布関数測定 |
○高橋秀典，粕谷俊郎，和田 元 |
同志社大院工 |
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P1-030 |
トカマクプラズマ崩壊時の内部磁場構造ダイナミックスの観測 |
○岡本征晃1)，小久保慎平1)，菊池祐介2)，大野哲靖1)，高村秀一1)，上杉喜彦3) |
1)名大，2)ユーリッヒ研究機構，3)金沢大 |
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P1-031 |
軽水素/重水素混合プラズマにおけるH(n=2)/D(n=2)密度比とガス混合比の相関関係 |
○奥村裕司1)，荒巻光利1)，佐々木浩一1)，後藤基志2)，武藤定嗣2)，森田 繁2) |
1)名大工，2)核融合研 |
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P1-032 |
LHDにおけるマイクロ波イメージング |
R. Pavlichenko1)， ○長山好夫1)， 間瀬 淳2)， 近木裕一郎2) |
1)核融合研，2)九大産学連携センター |
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P1-033 |
磁場閉じ込め装置CHSにおけるキセノンEUVスペクトルの計測 |
○鈴木千尋，西村博明1)，落合正幸1)，宋 美英，加藤隆子，岡村昇一，モアリチャード，西原功修1)，中井光男1)，重森啓介1)，藤岡慎介1)，小川宏明2)，佐々木明2) |
1)核融合研，2)阪大レーザー研，3)原研 |
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P1-034 |
トーラスプラズマ中での相対論的電子ビームの発生と診断 |
○河野康則，近藤 貴，波多江仰紀 |
原研那珂研 |
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P1-035 |
再結合プラズマ法による軟Ｘ線レーザーの計測 |
○武村祐一朗，山口直洋，原 民夫 |
豊田工大 |
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プラズマのモデリング |
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P1-036 |
R & D of SWP Cable |
○S. Ahmad, K. Baba, S. Ikezawa, K. Nakamura |
Dept. Electrical Engineering, Chubu University |
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P1-037 |
Surface-wave propagation along corrugated planar and cylindrical plasma-dielectric interfaces |
○I. Ganachev1,2), Y.Nojiri2),Y. Kouyama2), H. Sugai2) |
1) Shibaura Mechatronics Corporation, 2) Nagoya University |
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P1-038 |
有限要素法を用いた高周波プラズマ生成のハイブリッドシミュレーション |
○福山 淳 |
京大工 |
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P1-039 |
高周波マグネトロン放電におけるセルフバイアス電圧に対するミラー磁場の効果 |
○米村 茂，南部健一 |
東北大流体研 |
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P1-040 |
粒子シミュレーションによる超小型ICPプラズマ源とマイクロイオンスラスタに用いた場合の性能解析 |
○草場尚喜，斧 高一，高橋和生 |
京大工 |
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P1-041 |
誘導結合型フルオロカーボンプラズマの解離・再結合特性 |
○福本浩志，斧 高一，高橋和生 |
京大工 |
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P1-042 |
反応速度を考慮したアルゴン‐水素誘導熱プラズマのモデリング |
○厚地伸彦，茂田正哉，渡辺隆行 |
東工大原子炉研 |
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P1-043 |
反応速度を考慮したアルゴン誘導熱プラズマに対する酸素インジェクションの影響 |
○厚地伸彦，茂田正哉，渡辺隆行 |
東工大原子炉研 |
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P1-044 |
Heガス大気圧・高周波放電プラズマのモデリング ― 少量のO$_2$ガス混合の放電特性への影響 ― |
○長谷川貴史1)，小田昭紀1)，木村高志1)，押鐘 寧2) |
1)名工大院，2)阪大院 |
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P1-045 |
エキシマランプ用Xeバリア放電のシミュレーション －ランプ特性へ及ぼす高駆動周波数化の影響－ |
○小田昭紀1)，明石治朗2)，酒井洋輔3) |
1)名工大院，2)防衛大，3)北大院 |
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P1-046 |
アルゴン中のバリア放電型マイクロプラズマの２次元シミュレーション |
○杤久保文嘉，内田 諭 |
都立大工 |
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P1-047 |
希ガス中におけるマイクロプラズマ形成の数値解析 |
○内田 諭，杤久保文嘉 |
都立大工 |
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P1-048 |
部分電離気体における炭素ナノ微粒子と水素の生成・消滅過程の研究 |
○根城安伯，小西貴倫 |
八戸工大工 |
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P1-049 |
部分電離気体における炭素ナノ微粒子の電気的特性に関する研究 |
○佐々木良，根城安伯 |
八戸工大工 |
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P1-050 |
ホール推進機における放電不安定性抑制と衝突シースの研究 |
○山村有希，根城安伯 |
八戸工大院 |
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P1-051 |
シースレンズ効果によるモダル焦点法 |
○スタマテ エウジエン，菅井秀郎 |
名大 |
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P1-052 |
磁場閉じ込め装置の周辺プラズマの３次元流体モデリング |
○小林政弘1），Y.Feng2），D.Reiter3），森崎友宏1），増埼 貴1)，大藪修義1) |
1)核融合研，2)マックスプランク研，3)ユーリッヒ研 |
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プラズマ材料プロセス －（その１）－ |
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P1-053 |
アークスートを原料としたカーボンナノバルーンの合成 |
○丹羽宏彰1)，今泉豊博1)，滝川浩史1)，徐国春1)，榊原建樹1)，近藤明2)，吉川和男2)，伊藤茂生3) |
豊橋技科大1)，東海カーボン(株)2), 双葉電子工業(株)3) |
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P1-054 |
高次制御熱プラズマによるカーボンナノ構造体の形成 |
○山谷陽一,福政 修 |
山口大 |
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P1-055 |
ガスアーク放電による炭素クラスター合成過程の測定（ジェット機実験） |
○三重野哲，加藤大造 |
静大理 |
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P1-056 |
液中パルス放電および液中レーザアブレーション法を用いたナノ物質の作製 |
○川崎仁晴，大島多美子，中島将太，松永裕司，金子 勉，須田義昭 |
佐世保工高専 |
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P1-057 |
マイクロ波プラズマCVD法を用いたカーボンナノフレークの作製 |
○谷口雅樹1)，長尾英俊1)，平松美根男1)，安藤義則1)，堀 勝2) |
1)名城大, 2)名大 |
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P1-058 |
Ar/$CH_4$マイクロ波プラズマを用いたナノ結晶ダイヤモンド薄膜作製とその電界放出特性 |
○三宅正人，荻野明久，永津雅章 |
静大工 |
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P1-059 |
2層構造をもつa-Si:Hナノボール膜の膜質及び発光特性 |
○鈴木文明，金本悠平，加藤 勇 |
早大理工 |
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P1-060 |
ＲＦ熱プラズマによるシリサイドナノ粒子の創製機構に関する数値解析 |
○茂田正哉， 渡辺隆行 |
東工大原子炉研 |
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P1-061 |
ミスト噴霧分解法による酸化チタンナノ粒子の熱プラズマ合成 |
○石垣隆正1)，李 継光1)，神山弘志1),2)，王 暁輝1)，守吉佑介2) |
1)物材機構，2)法大工 |
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P1-062 |
RFプラズマエッチングによりダイヤモンドウィスカーの形成 |
○李 朝陽，鐵艸浩彰，吉村紘明，八田章光 |
高知工大 |
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P1-063 |
$C_60$固体の炭素ネットワークに与えるプラズマイオンエネルギーの効果 |
○佐藤直幸，斉藤 大，池畑 隆 |
茨城大院理工 |
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P1-064 |
低圧誘導結合プラズマにおけるナノ構造ダイヤモンドの成長とプラズマ特性 |
○岡田勝行，小松正二郎，石垣隆正 |
物材機構物質研 |
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P1-065 |
水素プラズマを用いて作成したa-Si:Hナノボール膜の高輝度発光 |
○吉田周平，加藤聖史，加藤 勇 |
早大理工 |
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P1-066 |
a-Si:H/SiN超薄膜多層膜の作製とTEM観察 |
○林 亮介，西本 泰，加藤 勇 |
早大理工 |
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P1-067 |
クラスタ抑制プラズマＣＶＤを用いた光安定a-Si:H膜作製 |
○古閑一憲，鹿口直斗，坂東紘輝，白谷正治，渡辺征夫 |
九大シス情 |
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P1-068 |
高密度マイクロ波プラズマによる微結晶シリコン薄膜の高速形成 |
○Jia Haijun，白井 肇 |
Graduate School of Sci. and Eng., Saitama Univeristy |
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P1-069 |
UHF SiH4/H2 プラズマによる高品質微結晶シリコン薄膜の形成とその気相診断 |
○堀 直樹1)，青山健太郎1)，堀 勝1)，後藤俊夫1)，知京豊裕2)，中川行人3) |
1)名大, 2)物質・材料研究機構, 3)アネルバ |
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P1-070 |
マルチホロー型カソードを用いた高密度VHFプラズマの生成 |
○板垣奈穂，新倉ちさと，松田彰久，近藤道雄 |
産総研 |
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P1-071 |
表面波プラズマによる微結晶および多結晶シリコン膜の高品質-高速堆積 |
○堀田芳彦，岡安隆文，豊田浩孝，菅井秀郎 |
名大工 |
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P1-072 |
高誘電率放電管によるRFダウンストリームプラズマでのSiエッチング特性 |
○池田泰志1)，藤原和也2)，遠藤雅克2)，深沢孝之2)，進藤春雄2) |
1)京セラ(株), 2)東海大電子情報 |
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P1-073 |
プラズマイオン注入・成膜法を用いて作製したDLC膜の密着強度改善 |
○岡 好浩，八束充保 |
兵庫県大 |
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P1-074 |
RF・高電圧パルス重畳PBIID法における炭化水素プラズマ発光計測 |
○藤原閲夫，西川圭一，切貫理治，東 欣吾，八束充保 |
兵庫県大工 |
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P1-075 |
Ｔ字状フィルタード真空アーク蒸着装置における成膜速度改善の検討 |
○岩崎康浩，南澤伸司，滝川浩史，徐国春，榊原建樹 |
豊橋技科大 |
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P1-076 |
アノード分極法によるDLC膜の耐食性評価 |
○立岩淳一，東 欣吾， 内田 仁， 八束充保 |
兵庫県立大 |
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P1-077 |
表面波励起プラズマCVD法による中性ラジカルからのアモルファス炭素膜の合成 |
○赤坂大樹，古川雅一，大竹尚登 |
東工大院 |
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P1-078 |
マイクロ波プラズマにより生成した水素化アモルファスカーボン膜のガスバリア特性 |
○荻野明久，田中貴之，松田貴文，永津雅章 |
静大工 |
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P1-079 |
誘導結合型プラズマを用いた水素化アモルファスカーボン薄膜の作製 |
○鈴木健之1)，巻野勇喜雄1)，江部明憲2)，三宅正司2)，西坂和晃2) |
1)阪大接合研，2)(株)イー・エム・ディー |
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P1-080 |
メタンプラズマを用いた薄膜成長過程の赤外分光解析 |
岩辻圭太郎，片桐輝明，柴田泰充，篠原正典，○松田良信，藤山 寛 |
長崎大工 |
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P1-081 |
単一ソースＲＦプラズマＣＶＤ法におけるa-SiC;H膜の生成機構 |
○金子 聰 |
東京理科大理 |
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P1-082 |
パルス変調UHF SiH4/H2 プラズマを用いたシリコンナノ微粒子の高速堆積 |
○高畑正史1)，山本昌宏1)，堀 勝1)，知京豊裕2) |
1)名大工 , 2)物材機構 |
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P1-083 |
Surface Reaction Kinetics during Diamond Growth and Nucleation in Low-Pressure Plasmas |
○堤井君元1)，内野喜一郎1)，堀 勝2)，後藤俊夫2) |
1)九大総理工, 2)名大工 |
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P1-084 |
プラズマ中電子温度制御によるダイヤモンド核形成 |
○恵美順一， 山口英行， 飯塚 哲 |
東北大工 |
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プラズマの基礎・素過程 －（その２）－ |
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P2-001 |
プラズマフロー速度シア駆動高次モード低周波不安定性の特性 |
○金子俊郎1)，畠山力三1)，Eric Reynolds2)，Mark Koepke2) |
1)東北大院工，2)ウェストバージニア大 |
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P2-002 |
ペアフラーレンイオンプラズマ中平行伝搬静電波の特性 |
○大原 渡，畠山力三 |
東北大 |
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P2-003 |
境界のあるプラズマ中における電子ビーム・プラズマ不安定性のカオティックな振る舞い |
○林 信哉，関 偉民 |
佐賀大理工 |
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P2-004 |
ヘリコン波放電プラズマにおけるエネルギーバランスとフロー計測 |
○竹田有吾，坂和洋一，庄司多津男 |
名大工 |
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P2-005 |
低密度プラズマ中におけるm=-1ヘリコン波のカットオフ現象 |
○佐藤玄太，大原 渡，畠山力三 |
東北大院工 |
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P2-006 |
高次モード左旋偏波の電子サイクロトロン減衰 |
○高橋和貴，金子俊郎，畠山力三 |
東北大院工 |
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P2-007 |
水素を打ち込んだグラファイトターゲットのパルスレーザーアブレーション |
○坂和洋一,佐藤幸司,柴原孝宏,田邉哲朗 |
名大工 |
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P2-008 |
トロイダルRFトラップに閉じ込めたCaイオンのレーザー冷却 |
○濱崎 弘1),坂和洋一1),荒巻光利1),庄司多津男1),早坂和弘2) |
1)名大工，2)通信総合研究所 |
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P2-009 |
空洞共振型表面波プラズマ装置における高密度プラズマ生成の実験及び数値解析 |
○田村 純1)，小越澄雄1) |
1) 東京理大院理工 |
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P2-010 |
表面波プラズマにおける高エネルギー電子比率の駆動周波数依存性 |
○鎌田貴之1)，小越澄雄1) |
1)東京理大院理工 |
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P2-011 |
PIC-MCC法を用いた表面波プラズマでの高エネルギー電子生成に関する研究 |
○萩坂 渉1)，小越澄雄1) |
1)東京理大院理工 |
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P2-012 |
プラズマ共鳴を有する不均一プラズマにおける表面波の理論 |
○嶋村亮宏1)，北條仁士1)，内田直人1)，八坂保能2)，間瀬 淳3) |
1)筑波大プラズマ研，2)神戸大工，3)九大産学連携センター |
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P2-013 |
パルス変調アルゴンＩＣＰの組成・放射強度に関する解析 |
○Rubin Ye，石垣隆正 |
物質・材料研究機構 |
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P2-014 |
ツイントーチプラズマアークの温度分布と輸送特性 |
○横尾広明1)， 岩尾 徹2)，湯本雅恵2)，稲葉次紀1) |
1)中大，2)武蔵工大 |
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P2-015 |
プラズマアークの温度分布を考慮した放射パワーの数値解析 |
○田代真一，岩尾 徹，稲葉次紀 |
中央大 |
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P2-016 |
宇宙推進機応用を目指したイオン加熱と発散型磁気ノズルによる複合プラズマ加速 |
○畑中 基，柴田雅希，戸張博之，服部邦彦，安藤 晃，犬竹正明 |
東北大院工 |
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P2-017 |
磁気チャンネルを通過する高ベータプラズマ流特性 |
○原田賢二，戸張博之，服部邦彦，安藤 晃，犬竹正明 |
東北大院工 |
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P2-018 |
ホール加速型プラズマ源における粒子ビーム特性 |
○人見敬一郎，戸張博之，服部邦彦，安藤 晃，犬竹正明 |
東北大院工 |
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P2-019 |
無隔膜衝撃波管における混合ガスの衝撃波速度測定 |
○釘宮 聡1)，Sirous Nourgostar1),青木貴弘1)，市薗啓太1)，佐藤浩之助2)，川崎昌二2)，TRIAMグループ2) |
1)九大総理工, 2)九大応力研 |
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プラズマの発生・制御 －（その1）－ |
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P2-020 |
熱陰極アーク放電プラズマの電子温度及びイオン温度制御 |
○江角直道，金箱 翼，清水深里 |
長野高専 |
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P2-021 |
タングステン蒸気混入超高温空気の高輝度放射パワー密度 |
○岩尾 徹1)，本田 賢2)，稲葉次紀2)，湯本雅恵1) |
1)武蔵工大，2)中央大 |
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P2-022 |
平行導体間直流フリーアークの電極移動現象 |
○稲葉次紀1)，根本明仁1)，岩尾徹2)，湯本雅恵2) |
1)中央大，2)武蔵工大 |
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P2-023 |
マルチグライディングアーク発生装置の開発 |
○志岐 肇1)，元木純平1)，滝川浩史1)，徐 国春1)，榊原建樹1)，西村芳実2)，菱田茂二2)，西 毅3)，大川 隆3) |
1）豊橋技科大，2）栗田製作所，3）大研化学工業. |
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P2-024 |
非金属アーク放電陰極（水－セラミック系）ＩＩ |
○出口幹雄，板谷良平 |
新居浜高専 |
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P2-025 |
アーク放電を用いたラジカル計測用小型光源の開発 |
○伊藤治彦2)，山川晃司1)，加納浩之3)，堀 勝1) |
1)名大工, 2)名市工研, 3)NUエコ・エンジニアリング |
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P2-026 |
微細ガス流マイクロプラズマの放電特性における電極の効果 |
○横山拓馬，浜田修平，薬師寺肇，井深真治，安岡康一，石井彰三 |
東工大電気電子 |
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P2-027 |
微細ガラス管内大気圧マイクロプラズマの生成及び応用 |
○田中康裕，飯塚 哲 |
東北大院工 |
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P2-028 |
第2高調波電子サイクロトロン共鳴を用いたマイクロプラズマの低気圧生成 |
○藤山 寛，井上弘之，黒木大輔，古江陽光 |
長崎大生産 |
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P2-029 |
電磁波の伝播制御のためのマイクロプラズマ生成 |
○酒井 道，坂口拓生，岸本諭卓，橘 邦英 |
京大工 |
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P2-030 |
微量元素分析のためのレーザ誘起マイクロプラズマ |
○岡本幸雄 |
東洋大工 |
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P2-031 |
自己パルス化直流放電によるマイクロプラズマの発生 |
○朝山淳哉，吉村 明，鐵艸浩彰，八田章光 |
高知工大 |
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P2-032 |
マイクロ波励起高気圧マイクロギャップ放電におけるエキシマー発光特性 |
○王 剣亮 |
名大工 |
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P2-033 |
容量結合多極放電ＣＣＭＤの基礎特性 |
○高木浩一1)，大向礼奈1)，向川政治1)，藤原民也1)，三浦友規2)，真瀬 寛3)，佐藤徳芳4) |
1)岩手大工, 2)澤藤電機（株） , 3)茨城大工, 4)東北大工 |
|
P2-034 |
Pattern formation in unipolar-pulsed dielectric barrier discharges |
○S.N. Abolmasov, T. Shirafuji1), and K. Tachibana2) |
VBL, Kyoto Univ., 1)IIC, Kyoto Univ., and 2)Dept. of Electr. Sci. & Eng., Kyoto Univ. |
|
P2-035 |
引出電極付近における大気圧高周波放電プラズマの特性 |
○佐藤直幸1)，バトサイハン バンズラグチ2)，池畑 隆1) |
1)茨城大院理工，2)スターエンジニアリング（株） |
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P2-036 |
大気圧マイクロ波H2Oプラズマ源 |
松尾雄平，○小野 茂 |
武蔵工大 |
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P2-037 |
溶液混合大気圧プラズマの生成 |
○平井和彦，岡田 健，金子俊郎，畠山力三 |
東北大院工 |
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P2-038 |
高速気流による定常大気圧グロー放電の安定化と応用 |
○山田浩義，服部邦彦，戸張博之，安藤 晃，犬竹正明 |
東北大工 |
|
P2-039 |
直流パルス変調電源を用いた低電力アークジェットスラスターの開発 |
○上田智史，大西幸泰 ，井 通暁，福田武司 |
阪大工 |
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P2-040 |
マイクロ波放電型イオンエンジンの開発 |
○井尻秀信,山本直嗣,宮本尚史,片原田弘,新屋敷佳祐,中島秀紀 |
九大総理工 |
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P2-041 |
１MW級ジャイロトロンを用いたプラズマ生成とマイクロ波ビーミング推進への応用 |
○小田靖久1),小紫公也1),高橋幸司2),春日井敦2),坂本慶司2) |
1)東大新領域，2)原研 |
|
プラズマの診断・計測 －（その２）－ |
|||
|
P2-042 |
大気圧CF[sub 4]/Arパルスプラズマを用いたO[sub 2]/H[sub 2]O添加SiO[sub 2]エッチングとその気相診断 |
○岩崎正博1)，伊藤昌文2),堀 勝 1)，北畠裕也3)，上原剛3) |
1)名大工, 2)和大工, 3)積水化学 |
|
P2-043 |
大気圧沿面放電の発光分光測定 |
○中嶋康雄1)，神藤正士2) |
1)静大院理工，2)静大工 |
|
P2-044 |
大気圧下同軸型マイクロ誘電体バリア放電におけるレーザ吸収分光法によるHe準安定励起原子密度測定 |
○岸本諭卓，酒井 道，橘 邦英 |
京大院工 |
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P2-045 |
水中レーザーアブレーションにおける発光の観測とプラズマ温度評価 |
○牛田博之，高田昇治，佐々木浩一 |
名大工 |
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P2-046 |
Visible Light Spectroscopy of Inductively Coupled Thermal Plasma at Atmospheric Pressure |
○鵜飼洋史1)，M. A. Razzak1)，大野哲靖2)，高村秀一1)，上杉喜彦3) |
1)名大工， 2)名大エコトピア， 3)金沢大工 |
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P2-047 |
発光分光と静電プローブを用いたマイクロ波励起超小型プラズマ源の診断 |
○鷹尾祥典，斧 高一，高橋和生 |
京大院工 |
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P2-048 |
弱磁場下膨張窒素アークジェットの特性 |
○八町昌彦， 松崎充男，松浦治明，赤塚 洋 |
東工大原子炉研 |
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P2-049 |
大気圧マイクロ波プラズマトーチの分光測定 |
○藤分浩一郎 1) ，山村辰徳 2) ，神藤 正士 3) |
1）静大院理工，2）静大院電子，3）静大工 |
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P2-050 |
表面波励起プラズマを用いたシリコン酸化プロセス中の原子状酸素の計測 |
○田辺雄二，石島達夫，菅井秀郎 |
名大工 |
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P2-051 |
誘導結合型Ar/C$_{2}$F$_{6}$放電のラングミュアプローブ測定及び発光分光測定 |
○能登雅久,木村高志 |
名工大工 |
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P2-052 |
表面波プローブを用いた磁化プラズマの電子密度モニタリング |
○矢島 壮1)，中村圭二2)，菅井秀郎1) |
1)名大工, 2)中部大 |
|
P2-053 |
マッハプローブによるプラズマ流計測と比熱比$\gamma_i$の評価 |
○渡辺貴史，牧田崇宏，戸張博之，服部邦彦，安藤 晃，犬竹正明 |
東北大院工 |
|
P2-054 |
ラジカルイオンビームを用いた有機Low-k膜のエッチング反応メカニズム |
○内田三郎1) 堀 勝1)，後藤俊夫1)，安藤厚博2)，辰巳哲也2) |
1)名大工，2)ソニー |
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P2-055 |
単結晶ダイヤモンドの高精度エッチングに向けた低気圧高周波酸素プラズマの観測（基礎特性） |
○吉川博道，中野恭嗣，桝村健右，佐藤直幸，池畑 隆 |
茨城大理工 |
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P2-056 |
反応性プラズマ中で生成されるナノ粒子のサイズ及び密度のその場測定 |
○布村正太1)，喜多 誠1)，古閑一憲1)，白谷正治1)，渡辺征夫1)，森貞桂紀2)，松木信雄2)，池田慎悟2) |
1)九大シス情，2)日本ASM(株) |
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P2-057 |
ホウ素化合物のレーザーアブレーションにおけるパルスプラズマの診断 |
○大場弘則，佐伯盛久，横山 淳 |
原研東海 |
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P2-058 |
イオン化スパッタリングにおけるイオン化率と微細パターン内堆積に対するガス圧の効果 |
○Nayan Nafarizal1)， 高田昇治1)，中村圭二2)，吉田達彦3)，佐々木浩一1) |
1)名大，2)中部大，3)アネルバ（株） |
|
プラズマの材料プロセス －（その２）－ |
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P2-059 |
高気圧Ar-N$_2$パルス変調誘導熱プラズマ下流部における励起原子フラックス |
○田中康規，室屋貴史，谷口賢次，上杉喜彦 |
金沢大 |
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P2-060 |
マイクロ波励起非平衡大気圧酸素プラズマを用いた有機膜の超高速(0.3mm/min)エッチング |
○山川晃司1)，堀 勝1)，後藤俊夫1)，田 昭治2)，片桐俊郎2)，加納浩之3) |
1)名大工, 2)片桐エンジニアリング, 3)NUエコ・エンジニアリング |
|
P2-061 |
走査型マイクロプラズマジェットを用いた3次元マイクロ加工 |
○ヘレンタン1)，一木隆範1)，出野琢也2)，一木隆範3) |
1)東大院・工，2）東洋大院工，3）科学技術振興機構さきがけ |
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P2-062 |
強制ガス冷却によるマイクロプラズマプロセスにおける熱移動の制御 |
○出野 琢也1)，一木 隆範2,3) |
1)東洋大工,. 2)東京大工,. 3)PRESTO |
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P2-063 |
非平衡大気圧プラズマを用いたカーボンナノ構造体の作製 |
○木村美幸1)，山川晃司2)，安藤義則1)，平松 美根男1)，堀 勝2) |
1)名城大，2)名大 |
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P2-064 |
大気圧マイクロプラズマジェットによるシリコン･炭素系ナノ構造の作製 |
菊地智幸1)，羽藤康裕1)，小林知洋2)，長谷川 靖洋3)，○白井 肇1) |
1)埼玉大工，2)理研，3)埼玉大院理工 |
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P2-065 |
大気圧RFバリア放電による炭素微粉末のプラズマ処理 |
青木祐典，○八田章光 |
高知工大 |
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P2-066 |
PLA併用熱CVD法による基板上に整列した単層カーボンナノチューブの作製 |
○上田 剛，坂本賢太郎，永野祐樹，モシャラフ ブイヤン，池上知顯，蛯原健治 |
熊大 |
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P2-067 |
１２相交流アーク放電によるカーボンナノチューブの合成 |
○松浦次雄 |
福井県工業技術センター |
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P2-068 |
高気圧電極マイクロ波放電により生成されるカーボンナノチューブ |
○江藤 昭弘1)，木村 慎佑2)，神藤 正士1) |
1)静大工，2）静大院理工研 |
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P2-069 |
Ni-C複合クラスター触媒を用いたマイクロ波プラズマCVDによるナノチューブ合成 |
○吉田隆映，松田貴文，田中貴之，荻野明久，永津雅章 |
静大工 |
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P2-070 |
アーク放電法によるフラーレン・ナノチューブ合成における超音波振動の影響 |
○松尾廣伸 |
静大工 |
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P2-071 |
プラズマＣＶＤによるカーボンナノチューブ配向成長の解析 |
○林 康明，渡辺陽介，上田啓介，西野茂弘 |
京都工繊大 |
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P2-072 |
PLD/CVD複合システムによるカーボンナノチューブの合成 |
○青木振一1)，大島多美子2)，川崎仁晴2)，蛯原健治3)，池上知顯3) |
1)崇城大工，2)佐世保高専，3)熊本大工 |
|
P2-073 |
レーザ熱化学気相堆積によるカーボンナノチューブ堆積 |
○須田善行，田中明秀，酒井洋輔，マリア・アントアネッタブラテスク |
北大院情報 |
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P2-074 |
有機溶媒中アーク放電によるカーボンナノチューブの創製 |
○岡田 健，金子俊郎，畠山力三 |
東北大院工 |
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P2-075 |
マイクロ波プラズマCVD法を用いた高密度カーボンナノチューブ膜の作製 |
○長尾英俊1)，谷口雅樹1)，平松美根男1)，天野 浩1)，堀 勝2) |
1)名城大，2)名大 |
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P2-076 |
プラズマイオン照射による原子・分子種内包単層カーボンナノチューブの電子輸送特性 |
○泉田 健1)，鄭 求桓1)，平田孝道1)，畠山力三1)，根尾陽一郎2)，三村秀典2)，表 研次3)，笠間泰彦3) |
1)東北大院工，2)静岡大電子，3)イデアルスター |
|
P2-077 |
多層カーボンナノチューブ成長に用いた\CH_{4}\/\H_{2}\プラズマの診断 |
○沖田篤士，須田善行，早川祐希，田中明秀，M. A. Bratesuc，酒井洋輔，菅原広剛 |
北大情科 |
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P2-078 |
高周波プラズマCVD法を用いて作製したカーボンナノウォールの電子放出特性 |
○榎本 篤1)，中村匡利1)，志治健一1)，平松美根男1)，安藤義則1)，堀 勝2) |
1)名城大理工，2)名大工 |
|
P2-079 |
カーボンナノウォール作製におけるRFプラズマ中のラジカル測定 |
○志治健一1)，榎本 篤1)，中村匡利1)，平松美根男1)，天野 浩1)，堀 勝2) |
1)名城大理工，2)名大工 |
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P2-080 |
RFプラズマCVD法による配向カーボンナノウォールの作製 |
○中村匡利1)，榎本 篤1)，志治健一1)，平松美根男1)，天野 浩1)，堀 勝2) |
1)名城大理工，2)名大工 |
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P2-081 |
光吸収法による誘導結合プラズマ支援DCスパッタ中のAr準安定原子密度測定 |
○森 恒，中村 忠，沖村邦雄 |
東海大 |
|
P2-082 |
誘導結合プラズマ支援スパッタリングによる酸化物薄膜形成 |
岩谷 勝，外村正人，川上 武，長野芳親，篠原正典，○松田良信，藤山 寛 |
長崎大工 |
|
P2-083 |
ＩＣＰ支援反応性スパッタ法によってMgO基板上へエピタキシャル成長したルチルTiO$_{2}$薄膜の面内配向性 |
○古海孝泰，高山 純，沖村邦雄 |
東海大電子 |
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P2-084 |
内部コイル型誘導結合プラズマ支援スパッタによる強磁性CoCrTa薄膜の堆積における基板バイアス制御の効果 |
○小柳淳哉，沖村邦雄 |
東海大 |
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P2-085 |
酸化チタンの反応性スパッタ用外部コイル型誘導結合プラズマ源 |
○岡村 賢，沖村邦雄 |
東海大 |
|
P2-086 |
誘導結合型プラズマを用いたZrO2薄膜合成に及ぼすＺｒターゲット状態の影響 |
○大津康徳1)，日野譲1)，三沢達也1)，藤田寛治1)，行村 建2)，秋山守人3) |
1)佐賀大理工，2)同志社大工，3)産総研 |
|
P2-087 |
ヘリコン波プラズマ支援スパッタリングによる立方晶窒化アルミニウムの低温結晶化 |
○松本貴士，木内正人 |
産総研関西 |
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P2-088 |
スーパーマグネトロンプラズマを用いたポリマー状a-CNx:H膜のスパッタリング支援プラズマＣＶＤ |
○木下治久，生田 亮，櫻井勝俊 |
静岡大電子研 |
|
P2-089 |
反応性スパッタリングにより作製した窒化スズ薄膜の結晶性に対する基板温度・バイアスの影響 |
○山科大悟1)，井上泰志2) ,高井 治2) |
1)名大院工, 2)名大エコトピア |
|
磁気閉じ込め核融合，慣性核融合 －（その１）－ |
|||
|
P2-090 |
JT-60U高周波加熱装置の性能向上とプラズマ加熱・制御 |
○藤井常幸，関 正美，森山伸一，鈴木隆博，諫山明彦，寺門正之，篠崎信一，下野 貢，長谷川浩一，平内慎一，横倉賢治 |
原研那珂研 |
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P2-091 |
JT-60Uにおける天然ダイアモンド検出器を用いた高エネルギー中性粒子測定 |
○草間義紀1）,石川正男1）,武智 学1）,西谷健夫1）,森岡篤彦1）,笹尾真実子2),磯部光孝3),A. クラシルニコフ4),Yu. A. カシュック4) |
1)原研那珂研，2)東北大，3)核融合研，4)トロイスク研 |
|
P2-092 |
LHDで捕集したダスト粒子のサイズ・密度・形状・組成 |
○白谷正治1),北浦靖寛1),古閑一憲1),渡辺征夫1),芦川直子2),西村清彦2),相良明男2),小森彰夫2),LHD実験グループ2) |
九大1),核融合研2) |
|
P2-093 |
CHSにおけるモンテカルロ計算を用いた中性粒子挙動解析 |
○井口智史1)，松浦寛人1)，岡村昇一2) |
1)大阪府立大，2)核融合研 |
|
P2-094 |
CHSにおけるヘリカルプラズマ境界輸送障壁(ETB)の形成 |
○南 貴司1)，岡村昇一1)，秋山毅志1)，磯部光孝1)，大石鉄太郎 2) ，中野治久3)，居田克巳1)，藤澤彰英1)，中村希一郎1)， 永岡賢一1)，吉沼幹朗1)，鈴木千尋1) ，吉村泰夫1)，東井和夫1)，西浦正樹1)，大島慎介4)，成廣善三1)，井口春和1)，西村 伸1)，清水昭博1)，松岡啓介1)，高橋千尋1)，CHSグループ1) |
1)核融合研，2)東大院工システム量子，3)総研大，4)名大エネ理工 |
|
P2-095 |
CHSにおける重イオンビームプローブによる揺動計測と経路積分効果の考察 |
○中野治久1)，藤澤彰英2)，清水昭博2)，大島慎介3)，井口春和2)，南 貴司2)，吉村泰夫2)，松岡啓介2)，岡村昇一2)，CHS グループ2) |
1)総研大, 2)核融合研, 3)名大工 |
|
P2-096 |
高温プラズマにおける水素ペレットアブレーションの基礎過程 |
○佐藤浩之助1)，市薗啓太2)，釘宮 聡2)，榊田 創3)，三沢達也4)，大津康徳4)，藤田寛治4) |
1)九大応力研, 2)九大総理工, 3)産総研, 4)佐賀大理工 |
|
P2-097 |
高速点火のためのプラズマ中での相対論的レーザーチャンネリングの形成 |
○A. L. Lei1)，田中 和夫1)，A. Pukhov2)，児玉 了祐1)，薮内 俊穀1)，安積 健1)，北川 米喜1)，近藤 公伯1)，G. R. Kumar1)，松岡 健之1)，O. Shorokhov2)，乗松 孝好1)，R. Snavely3)，J. Zueng1)，井澤 靖和1) |
1)阪大レーザー研，2)ハイネ大学，3)ローレンスリバモア研 |
|
P2-098 |
乱流・帯状流相互作用における外部プラズマ流の効果 |
○鵜沢 憲1)，岸本泰明1)， Jiquan Li2) |
1)京大エネ科, 2)SWIP |
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P2-099 |
ヘリシティ駆動系における極低アスペクト比トーラスの流れのある2磁気流体平衡 |
○神吉隆司1)，永田正義2)，宇山忠男2) |
1)海保大, 2)兵庫県大院工 |
|
宇宙プラズマ（スペース，天体） |
|||
|
P2-100 |
磁場にほぼ平行方向の相対論的粒子加速 |
○宇佐見俊介1)，長谷川裕記2)，大澤幸治1) |
1)名大理，2)核融合研 |
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P2-101 |
大振幅相対論的アルフヴェン波の分散関係と非線形発展 |
○羽田 亨，松清修一，池田昌弘，V. Munoz |
九大院総理工 |
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P2-102 |
アルフヴェン波動乱流の非線形発展 |
○成行泰裕，羽田 亨 |
九大総理工 |
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P2-103 |
高マッハ数準垂直衝撃波の構造とその遷移領域における波動－粒子相互作用 |
○松清修一 1)， Manfred Scholer 2) |
１）九大総理工，２）マックスプランク研 |
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P2-104 |
木星磁気圏のMHDシミュレーション |
○深沢圭一郎1)，荻野竜樹1)，R. J. Walker2) |
1)名大工太陽研, 2)UCLA IGPP |
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P2-105 |
土星磁気圏のMHDシミュレーション |
○荻野竜樹,深沢圭一郎,尾木俊一 |
名大太陽地球環境研 |
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P2-106 |
地球磁気圏におけるバルーニング不安定の非線形発展の３次元MHDシミュレーション |
○梶原靖人，荻野竜樹 |
名大STEL |
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P2-107 |
北向き惑星空間磁場時の地球磁気圏における電子およびイオン分布関数の発展： Ｋ-Ｈ不安定がプラズマ混合・輸送へ及ぼす影響に関する考察 |
○関華奈子1)，松本洋輔1)，B. Lavraud2)， M. F. Thomsen2)， R. C. Elphic2)，向井利典3)，齋藤義文3)，H. Reme4)，and A. N. Fazakerley5) |
1) 名大太陽地球環境研, 2)LANL, USA, 3)宇宙航空研究開発機構宇宙研, 4)CESR-CNRS, France, and 5)MSSL, University College London, UK |
|
P2-108 |
磁気圏-電離圏結合系におけるフィードバック不安定性の簡約化MHD解析 |
○渡邉智彦 |
核融合研/総研大 |
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P2-109 |
低域混成ドリフト不安定を通したイオンスケールの電流層中における急速な磁気リコネクションのトリガー |
○篠原 育1)，田中健太郎2)，藤本正樹2) |
1) JAXA宇宙研，2)東工大 |
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P2-110 |
ホールスラスタにおける二次電子放出の影響に関するシミュレーション研究 |
○山口広行，山村有希，根城安伯 |
八戸工大 |
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その他の分野 |
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P2-111 |
閉じ込め式液体電極を用いた水溶液の発光分析 |
○飯塚亜紀子1)，松本裕和1)，森田資隆1)，民谷栄一1)，高村 禅1,2) |
1) 北陸先端大院，2)科学技術振興機構さきがけ |
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P2-112 |
ＥＵＶリソグラフィ用キャピラリーＺピンチ放電生成プラズマ光源の開発 |
○小林靖典，岩田和宏，本間友祐，宋仁皓，Majid MASNAVI，安岡康一，渡辺正人，沖野晃俊，堀岡一彦，堀田栄喜 |
東工大 |
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P2-113 |
「ギガワット級・短パルス・マイクロ波」の輸送と応用 |
○安藤利得，鎌田啓一，他 |
金沢大 |
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P2-114 |
超短パルスレーザーと超音速ガスジェットによって生成されたプラズマ中での準単色電子ビーム加速 |
○阿達正浩1)，三浦永祐2)，加藤 進2)，小山和義2)，益田伸一3)，渡辺孝之4)，小方 厚1)，谷本充司5) |
1)広大先端研, 2)産総研, 3)放医研, 4)宇都宮大工, 5)明星大理工 |
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P2-115 |
高強度レーザーによるプラズマ中における高エネルギー電子発生に関する粒子シミュレーション |
○加藤 進1)，三浦永祐1)，谷本充司2)，阿達正浩3)，益田伸一4)，渡辺孝之5)，小山和義1) |
産総研1), 明星大2), 広大先端研3), 放医研4), 宇都宮大5) |
|
P2-116 |
プラズマ流体による疑似ブラックホールの数値解析 |
○古橋弘亘 1)，矢田智春 1)，斉田浩見 2)，南部保貞 1) |
1)名大，2)大同工大 |
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プラズマの発生・制御-（その2）- |
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P3-001 |
ＪＴ－６０における負イオン中性粒子入射加熱装置の長パルス化の課題 |
○池田佳隆，秋野昇，井上多加志，薄井勝富，梅田尚孝，大賀徳道，大島克己，岡野文範，椛澤稔，河合視己人，菊池勝美，小又将夫，竹之内忠，棚井豊，能登勝也，花田磨砂也，本田敦，藻垣和彦，山崎晴彦 |
原研那珂研 |
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P3-002 |
高パワー密度中性粒子ビームシステムの開発 |
○榊田 創1)，木山 學1)，平野洋一1)，八木康之1)，小口治久1)，島田壽男1)，浅井朋彦2) |
1)産総研，2)日大 |
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P3-003 |
Macroscopic oscillation of the plasma due to the plasma-gas interaction in the linear machine TPD-II |
○松原章浩1)，杉本達律2)，佐藤国憲1) |
1)核融合研，2)総研大 |
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P3-004 |
トカマク装置における大きな径電場誘起と電位振動時の時空間測定 |
○福澤祐馬，大野哲靖，高村秀一 |
名大 |
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P3-005 |
RFジュール放電を用いた高熱流トロイダルプラズマの生成 |
○枡田博光1)，北原弘義1)，大野哲靖2)，上杉喜彦3)，高村秀一1)，高木 誠1) |
1)名大工, 2)名大エコトピア, 3)金大工 |
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P3-006 |
プラズマプロセス用超小型トカマク装置の開発 |
○井 通暁，野里英明，福田武司 |
阪大工 |
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P3-007 |
Dynamic Interaction Between Plasma and RF Source in the Ignition Stage of Radio Frequency Inductive Discharges in Near Atmospheric Pressure |
○M. A. Razzak 1), S. Takamura 1), and Y. Uesugi 2) |
1) Department of Energy Engineering and Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University 2) Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Kanazawa University |
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P3-008 |
高周波誘導プラズマの動的生成過程における誘導コイル負荷インピーダンスとインバーター電源の過渡応答特性 |
○1)上杉喜彦,2)鵜飼洋史,2)M. A. Razzak,2)高村秀一 |
1)金沢大自然科学，2)名大工 |
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P3-009 |
パルス変調マイクロ波により生成された大気圧プラズマの特性 |
○米須 章，田仲晋作，西尾英一朗，山城康正 |
琉球大工 |
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P3-010 |
大気圧マイクロ波プラズマトーチのノズル周辺電磁界分布の数値解析 |
○山村辰徳１），金井博史１），神藤正士２） |
１）静大院電子，２）静大工 |
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P3-011 |
高圧力マイクロ波フロンプラズマによる表面の疎水性制御 I. プラズマ生成 |
○黒田将支，メゼレッテ デービッド，菅井秀郎 |
名大工 |
|
P3-012 |
窒素添加希ガス混合高密度プラズマ中の活性窒素・イオンの挙動 |
○岡田享大，金井英和，石島達夫，本田善央，菅井秀郎 |
名大 |
|
P3-013 |
改良型平板状マイクロ波ランチャーを用いた大口径プラズマの生成 |
○内藤克俊1)， 三宅正人1)，南光正平2)，永津雅章1) |
1) 静大工, 2)ニッシン |
|
P3-014 |
高誘電率放電管を用いたRF表面波ダウンストリームプラズマの生成 |
○藤原和也1)，遠藤雅克1)，池田泰志2)，進藤春雄1) |
1)東海大電子情報，2)京セラ(株) |
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P3-015 |
負バイアスされた金属棒に沿って生成されるマイクロ波励起高密度プラズマ柱 |
○上坂裕之，梅原徳次 |
名大院機械 |
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P3-016 |
高気圧電極マイクロ波放電の電極加熱と発光分光特性 |
○木村慎佑1)，江藤昭弘2)，神藤正士2) |
1)静大院理工，2)静大工 |
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P3-017 |
薄型導波管を用いたマイクロ波ラインプラズマの生成 |
○深沢孝之1)，藤井修逸2)，進藤春雄1) |
1)東海大，2)(株)アドテックプラズマテクノロジー |
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P3-018 |
スロット励起マイクロ波プラズマの大面積生成 （Ⅰ）理論的検討 |
○野尻康弘，高須一泰，石島達夫，菅井秀郎 |
名大工 |
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P3-019 |
スロット励起マイクロ波プラズマの大面積生成（Ⅱ）実験結果 |
○高須一泰1)，野尻康弘1)，石島達夫1)，菅井 秀郎1) |
1)名大工 |
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P3-020 |
SiH4/H2混合ガスを用いた915MHzECRプラズマ中のプラズマパラメータの調査 |
○牟田浩司，D. H. Thang，河合良信 |
九大総理工 |
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P3-021 |
マルチ低インダクタンスアンテナの統合制御によるメートル級／超大面積プラズマ源の開発 －定在波フリーの新しい一様性制御技術－ |
○節原裕一1)，江部明憲2)，庄司多津男 3)，杉浦 慎哉 4)，高橋 和生 4)，斧 高一 4) |
1)阪大接合研，2) （株）EMD， 3) 名大院工，4) 京大院工 |
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P3-022 |
磁気絶縁型アンテナを用いた誘導プラズマの生成とその低電位化 |
○門田英真，平野 治，若山 玲，日高一成，中村圭二 |
中部大 |
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P3-023 |
ＣＤＥの長寿命アプリケータ開発 |
○宮本高志，I.P.Ganachev ，吉澤心祐，東野秀史 |
芝浦メカトロニクス（株） |
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プラズマの診断・計測 －（その3）－ |
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P3-024 |
フェルミアンテナを用いた多チャンネル反射計の開発 |
○高畠 理，服部邦彦，戸張博之，安藤 晃，犬竹正明 |
東北大院工 |
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P3-025 |
ドルベスタイン法とｒｆプローブ法による測定空間電位の差異 |
○松村昭作 |
武蔵工大 |
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P3-026 |
イオン感受プローブのイオン温度測定更正係数 |
○津島 晴，田山雄一 |
横国大工 |
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P3-027 |
マイクロ波励起酸素プラズマに対する希ガスの混入効果 |
○坂本武士， 直井浩一，北村直久，松浦治明,赤塚 洋 |
東工大原子炉研 |
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P3-028 |
静電プローブにより測定されたパルス表面波プラズマの構造解析 |
○荻野明久1)，蔀 貴行2)，神藤正士1) |
1)静大工, 2)静大院理工研 |
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P3-029 |
低気圧パルス表面波プラズマにおける石英板周辺部プラズマの静電プローブ測定 |
○蔀 貴行1)，荻野明久2)，神藤正士3) |
１）静大工，２）静大院理工 |
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P3-030 |
915MHz表面波プラズマ中の高エネルギー電子とマイクロ波電界の観測 |
○中尾禎子，E. Stamate，菅井秀郎 |
名大工 |
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P3-031 |
t-ブチル系有機シリコン―酸素プラズマの発光分光解析 |
○折山延樹1)，井上泰志2)，高井 治2)，原 大治3)，吉田圭介3) |
1)名大院工, 2)名大エコトピア, 3)東ソー� |
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P3-032 |
希ガス希釈酸素RFプラズマの分光研究 |
○北嶋 武，高橋 慶，鹿毛亮佑，中野俊樹 |
防衛大 |
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P3-033 |
真空紫外レーザ吸収分光法によるプロセスプラズマ中の水素原子絶対密度測定 |
○内山繁喜，横溝 誉，橘 邦英 |
京大院工 |
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P3-034 |
H，N，O原子絶対密度同時計測技術の開発 |
○高島成剛1)，海老原勝2)，堀 勝1)，加納浩之3) |
1)名大，2)フォーサイトテクノ，3)NUエコ・エンジニアリング |
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P3-035 |
窒素酸素混合プラズマの混合比に対するガス温度の依存性 |
○北村直久，坂本武士，松浦治明，赤塚 洋 |
東工大 |
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P3-036 |
希ガス添加酸素プラズマにおける粒子の振る舞い |
○久保田良規，高島成剛，堀 勝 |
名大学院工 |
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P3-037 |
マグネトロンスパッタ放電における高エネルギー反跳粒子の計測と制御 |
○坂下洋平，高木佑輔，豊田浩孝，高 軍思，佐々木浩一，加藤剛志，岩田 聡，綱島 滋，菅井秀郎 |
名大 |
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P3-038 |
高密度容量結合プラズマにおけるフルオロカーボンラジカルの温度計測 |
○永井幹雄，杉浦幹在，堀 勝，後藤俊夫 |
名大工 |
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P3-039 |
H^-イオン源プラズマ中の中性粒子の速度分布関数 |
○西垣内晋祐，粕谷俊郎，和田 元 |
同志社院工 |
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P3-040 |
狭帯域バンドパスフィルタを用いてのアルゴンアクチノメトリー画像計測による酸素原子，フッ素原子の密度分布診断 |
○押鐘 寧1)，長尾明彦1)，小田昭紀2)，山村和也1)，遠藤勝義1) |
1)阪大院工，2)名工大院工 |
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P3-041 |
RFバイアスの静電チャック電流への影響 |
○沈 規一1)，山内健資2)，菅井秀郎1) |
1)名大，2)東芝 |
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プラズマ・表面相互作用 |
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P3-042 |
100ｅＶ級高粒子束イオンビームの開発 |
○吉田 肇，横山堅二，鈴木 哲，榎枝幹男，秋場真人 |
原研那珂 |
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P3-043 |
数十eV重水素プラズマ照射によるタングステンのブリスタリング挙動 |
○羅 廣南，洲 亘，西 正孝 |
原研 |
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P3-044 |
JT60U及びTFTRプラズマ対向壁の重水素イオンビームを用いた核反応分析 |
○久保田直義，落合謙太郎，沓掛忠三，林 孝夫，洲 亘，西 正孝，西谷健夫 |
原研 |
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P3-045 |
低エネルギー・高粒子束重水素/Heプラズマ照射によるタングステン表面でのブリスター/ホール形成 |
○西島 大1)，岩切宏友2)，大野哲靖1)，吉田直亮2)，高村秀一1) |
1)名大, 2)九大応力研 |
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P3-046 |
JT-60U内側ダイバータ部に形成された再堆積層の構造と熱物性 |
○石本祐樹，後藤純孝，新井 貴，正木 圭，宮 直之，大山直幸，朝倉伸幸 |
原研那珂研 |
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P3-047 |
負イオン及び中性粒子の存在する水素プラズマシースのPICシミュレーション |
○松浦寛人，山本隆弘 |
大阪府大工 |
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P3-048 |
フロロカーボン分子を用いたラジカルフリーイオン誘起SiO$_{2}$エッチング |
○高田昇治，豊田浩孝，菅井秀郎 |
名大工 |
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P3-049 |
CO/Ar^+^/H_2^+^ビーム同時照射下におけるNiエッチング表面反応過程 |
○木下欣紀，豊田浩孝，菅井秀郎 |
名大工 |
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P3-050 |
超高真空チャンバ用新ラジカルクリーニング技術の開発 |
○海老原勝2),高島成剛1),堀 勝1),田 昭治3),加納浩之4) |
1)名大,2)フォーサイトテクノ,3)片桐エンジニアリング,4)NUエコ・エンジニアリング |
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P3-051 |
塩素系ガスプラズマによる高誘電率絶縁膜およびメタル電極材料のエッチング |
○北川智洋，長利一心，仲村恵右，高橋和生，斧 高一 |
京大工 |
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P3-052 |
シリコンの塩素プラズマエッチングにおけるエッチング生成物の堆積と表面酸化のモデル |
○小佐野祐吾，斧 高一 |
京大院工 |
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P3-053 |
有機ポリマー表面とラジカルビーム間相互作用のＭＤシミュレーション |
○山城昌志1)， 山田英明2)， 浜口智志1) |
1)阪大, 2)産総研 |
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P3-054 |
Glue Model を用いた低エネルギーＡｕイオンビーム蒸着の分子動力学シミュレーション |
○滝澤敏史1)，福田武司1)，浜口智志1)，木内正人2)，伊藤憲司3)，山田英明3) |
1)阪大原子分子セ, 2)産総研, 3)京大 |
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プラズマ材料プロセス-（その3）- |
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P3-055 |
パルスレーザー支援プラズマ CVD法によるsp3-結合性5H-BN薄膜における電界電子放出エミッターのフラクタル分布 |
○小松正二郎1)，風見大介2)，奥戸昭雄2)，田中 洋則2)，守吉佑介2)，岡田勝行1) |
1)物材研，２）法政大工 |
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P3-056 |
分離型レーザアブレーション法における電界・磁界効果 |
○藤井康次，マニュエルアロンソ，徳増広大，蛯原健治，池上知顯 |
熊本大 |
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P3-057 |
PLD法によるTi$O_2$多層薄膜作製とその特性 |
○モシャラフブイヤン1)，新宮啓司1)，池上知顯2)，蛯原健治2) |
1)熊大院，2)熊大工 |
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P3-058 |
The growth of transparent conducting Al doped ZnO films by pulsed laser deposition |
○S. Park，M Alonso，池上知顯，蛯原健治 |
熊大 |
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P3-059 |
PLD法によるリチウムイオン電池用酸化物薄膜の作製 |
○尾辻弘成1)， 川原一剛1)， 青木振一2)，池上知顯1)， 蛯原健治1) |
1)熊大, 2)崇城大 |
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P3-060 |
N2雰囲気下でのPLD法による有機発光薄膜の作製 |
○田中康裕，朴 相武，蛯原健治，池上知顯 |
熊大 |
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P3-061 |
PLD法による$TiO_{2}$アブレーションプルーム中の粒子計測 |
○大島多美子1)，川崎仁晴1)，中島将太1)，松永裕司1)，須田義昭1)，蛯原健治2) |
1)佐世保工高専，2)熊大 |
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P3-062 |
Low Temperature Formation SiN Films on Organic Substrate Employing Very High Frequency-Capacitively Coupled Plasma and Measurements of Organic Light Emitting Diodes Characteristics |
○石田哲朗1)，松原丈晃1)，堀 勝1)，後藤俊夫1)，森 竜雄1)，竹内秀夫2)，多田重和3) |
1)名大工，2)豊田工大，3)(株)ユーテック |
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P3-063 |
バイオミメティック手法による窒化物薄膜のエレクトロクロミック特性の向上 |
○井上泰志1)，藤原卓矢2)，山崎純一2)，高井 治1) |
1)名大エコ, 2)名大院工 |
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P3-064 |
電子ビーム励起プラズマ(EBEP)による金属表面窒化 |
○菱田隆模，庄山裕章，原 民夫 |
豊田工大 |
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P3-065 |
反応性プラズマ溶射法による窒化物皮膜作製における水素の役割 |
○山田基宏1)，稲本竜也1)，福本昌宏2)，安井利明2) |
1)豊橋技科大院，2)豊橋技科大 |
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P3-066 |
窒素プラズマイオン注入によるSUS304の表面改質 |
立岩淳一，○八束充保 |
兵庫県大工 |
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P3-067 |
アモルファス窒化炭素膜の微細構造 |
○小林靖志1),齋藤永宏1),井上泰志2),高井治2) |
１)名大，2)名大エコトピア |
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P3-068 |
数種の誘導結合プラズマの状態を用いた窒化炭素膜の作製 |
○横田貴史，アニータ バイオレル，太田理一郎，齋藤永宏，高井 治 |
名大 |
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P3-069 |
基板バイアスと温度による窒化炭素膜構造の変化 |
○安井利明1)，藤内賢治2)，田原弘一2)，吉川孝雄2)，福本昌宏2) |
1)豊橋技科大，2)阪大 |
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P3-070 |
質量選択的運動量制御によるZnO薄膜のプラズマ合成 |
佐藤直幸，○山内 智，中野恭嗣，池畑 隆，大貫 仁 |
茨城大院理工 |
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P3-071 |
質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた亜鉛-酸素混合プラズマの生成 |
○佐藤直幸，中野恭嗣，池畑 隆，山内 智，大貫 仁 |
茨城大院理工 |
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P3-072 |
質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた高周波磁化酸素プラズマの特性 |
○中野恭嗣，佐藤直幸，池畑 隆，山内 智，大貫 仁 |
茨城大院理工 |
|
P3-073 |
シールド型アークイオンプレーティング法により作製したアモルファスMo-Ni-B系薄膜の耐食特性 |
○尹 龍燮１），齋藤永宏1)，井上泰志2)，高井 治2) |
1)名大，2）名大エコトピア |
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P3-074 |
VHF60MHz帯を用いたプラズマMOCVDによる三元系高誘電率ゲート絶縁膜HfAlYOの形成 |
○田村永児1)，堀 勝1)，後藤俊夫1)，徳田 豊2)，知京豊裕3) |
1)名大, 2)愛工大, 3)物材機構 |
|
P3-075 |
パルス変調RF熱プラズマ照射による酸化亜鉛への水素ドーピング |
○田口広之1)2)，石垣隆正1)，叶 如彬1)，大橋直樹1)，羽田 肇1)，伊藤 滋2) |
1)物材機構，2)東京理科大 |
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P3-076 |
パーフルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長と薄膜生成 |
○古屋謙治，雪田 忍，奥村洋史，中西良一，蒔田 慎，原田 明 |
九大院総理工 |
|
P3-077 |
C2H2F2パルス変調高周波プラズマＣＶＤを用いた超撥水薄膜合成 |
○大津康徳，矢崎伸二，増田洋一，三沢達也，藤田寛治 |
佐賀大理工 |
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P3-078 |
Low-k PE-CVDに用いられるDVS-BCBプラズマのその場FTIR診断 |
○白藤 立1)，若井達郎2)，橘 邦英2) |
1)京大国際融合創造セ 2)京大工電子 |
|
P3-079 |
C$_6$F$_6$を用いた耐熱性Low-$k$膜のPE-CVD |
○白藤 立1)，橘 邦英2) |
1)京大国際融合創造セ 2)京大工電子 |
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P3-080 |
電子フリー負イオン源を用いた表面酸化処理 |
○西岡将輝 |
産総研 |
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P3-081 |
パルス変調型電子ビーム励起プラズマにおける絶縁体材料エッチングと発光分光計測 |
○竹田圭吾1)，留河 裕2)，太田貴之2)，伊藤昌文2)，堀 勝1) |
1)名大工, 2)和大シス工 |
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P3-082 |
マルチストリング磁化プラズマによる大体積負イオンの蓄積 |
鶴田修一，○ アビッド イムティアツ，三重野哲 |
静大理 |
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P3-083 |
Control of Ion Dose over a Wafer in Plasma Immersion Ion Implantation |
○N.Holtzer, E.Stamate, H.Sugai |
Nagoya University |
|
電子デバイスプロセス |
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|
P3-084 |
真空紫外吸収分光法を用いた銅のプラズマCVDにおけるプラズマ中のH密度測定 |
○竹中弘祐，鍜治昂男，古閑一憲，白谷正治，渡辺征夫 |
九大シス情 |
|
P3-085 |
トライオード放電を用いた銅のプラズマ異方性CVDに対するイオン種及びフラックスの効果 |
○竹中弘祐，鍜治昂男，古閑一憲，白谷正治，渡辺征夫 |
九大シス情 |
|
P3-086 |
VHFパルス放電を用いたナノ結晶Si薄膜堆積 |
○白谷正治1)，掛谷知秀1)，古閑一憲1)，布村正太1)，渡辺征夫1)，近藤道雄2) |
1)九大，2)産総研 |
|
P3-087 |
アスペクト比15以上を持つ100nmラインアンドスペースＳｉエッチング |
○川田博昭1），安田雅昭1），平井義彦 1)，豊田 宏 2) |
1)大阪府大工，2)ＯＳＴＥＣ |
|
P3-088 |
VHF容量結合型プラズマを用いたSiOCHエッチングプロセスにおける選択比向上メカニズムの解析 |
○杉浦幹在1)，堀 勝1)，藤本 究2) |
1)名大，2)東京エレクトロンAT |
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P3-089 |
誘導結合型フルオロカーボンプラズマを用いたHfO$_2$/Si選択性エッチング |
○高橋和生，斧 高一 |
京大院工 |
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P3-090 |
SmCoリング磁石を用いた高密度プラズマ装置によるＩｎＰの垂直平滑エッチング |
○松谷晃宏1)，大槻秀夫2)，小山二三夫1) |
1)東工大精研，2)サムコ |
|
P3-091 |
DTCL-MPCVD装置を用いてパターニングを施したSi基板上に生成したカーボンナノチューブ |
○中村尚裕,千綿理人,加藤 勇,宇高勝之,中野孝俊 |
早大理工 |
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P3-092 |
高圧力マイクロ波フロンプラズマによる表面の疎水性制御 II. 表面改質 |
○D. MxJ凹erette, M. Kuroda, H. Sugai |
Nagoya University |
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P3-093 |
sp3-結合性5H-BN薄膜・自己造形性エミッターによる大気圧ー電界電子放出 |
○小松正二郎1)，風見大介2)，奥戸昭雄2)，田中 洋則2)，守吉佑介2)，知京豊裕1)，岡田勝行1) |
1)物質材料研究機構，2)法政大工 |
|
磁気閉じ込め核融合，慣性核融合 －（その２）－ |
|||
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P3-094 |
トカマク・ヘリカル・ミラーを融合した新しいプラズマ閉じ込めシステムの模索 |
○山崎耕造， 久保田雄輔 |
核融合研 |
|
P3-095 |
LHD及びCHSにおける中性粒子ビーム電流駆動実験 |
○永岡賢一，渡邊清政，舟場久芳， 東井和夫，成嶋吉朗，小渕 隆，居田克己，清水昭博，磯部光孝，岡村昇一，池田勝則，長壁正樹，津守克嘉，岡 良秀，竹入康彦，金子修，LHD，CHS実験グループ |
核融合研 |
|
P3-096 |
大型ヘリカル装置のスクレイプオフ層における粒子輸送 |
○増崎 貴，森崎友宏，小林政弘，坂本隆一，田中謙治，LHD実験グループ |
核融合研 |
|
P3-097 |
CHSにおける輸送障壁形成と閉じ込め改善研究 |
○岡村昇一1),南 貴司1),秋山毅志1),大石鉄太郎2),藤澤彰英1),居田克巳1),井口春和1),磯部光孝1),門信一郎2),永岡賢一1),中村希一郎1),西村 伸1),松岡啓介1),松下啓行1),中野治久1),西浦正樹1),大島慎介1),清水昭博1),鈴木千尋1),高橋千尋1),東井和夫1),吉村泰夫1),吉沼幹朗1) |
1)核融合研,2)東大 |
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P3-098 |
JT-60UおよびLHDの周辺プラズマにおける非拡散的な輸送解析 |
○三好秀暁1)，大野哲靖2)，上杉喜彦3)，朝倉伸幸4)，増崎 貴5)，V.P.Budaev6)，高村秀一1)，三浦幸俊4)，小森彰夫5) |
1)名大院工，2)名大エコトピア研，3)金沢大工，4)原研那珂，5)核融合研，6)クルチャトフ研 |
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P3-099 |
JT-60Uにおける核燃焼模擬実験による燃焼制御研究 |
○竹永秀信 1)，三浦幸俊1)，久保博孝1)，坂本宜照1)，平塚 一1)，市毛尚志1)，米川 出1)，川俣陽一1)，飯尾俊二2)，坂本隆一3)，小林進二4) |
1)原研那珂研，2)東工大，3)核融合研，4)京大 |
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P3-100 |
逆転磁場ピンチ装置STP-3(M)の周辺プラズマにおける静電揺動現象の観測 |
○山家清之，有本英樹，佐藤紘一 |
名大 |
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P3-101 |
TRIAM-1Mにおける酸素不純物のふるまい |
○小川正訓1)，坂本瑞樹2)，佐藤浩之助2)，高木健太郎1)，東園雄太3)，久保田雄介3)，中嶋洋輔3)，北口将博1)，前薗伸美1)，中島浩太1)，菅田智志1)，花田和明2)，中村一男2)，図子秀樹2)，出射浩2)，長谷川真2)，彌政敦洋2)，東島亜紀2)，川崎昌二2)，中島寿年2) |
九大総理工1)，九大応力研2)，筑波大プラズマ研3) |
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P3-102 |
有限要素法による抵抗性MHDモードのシミュレーション研究 |
○三木一弘，岸本泰明，Andreas Bierwage |
京大エネ科 |
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P3-103 |
運動論的プラズマ乱流における速度分布関数構造 |
○渡邉智彦，洲鎌英雄 |
核融合研/総研大 |
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P3-104 |
大電流重イオンビームバンチングおよび集束過程でのエミッタンス増加 |
○菊池崇志1)，染谷哲勇1)，川田重夫1)，中島充夫2)，堀岡一彦2) |
1)宇都宮大工，2)東工大総理工 |
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P3-105 |
核融合ブランケット材料（溶融$LiF-PbF_2$）の適用性検討 (i) トリチウムインベントリー |
○松浦治明，ムラト アブラノフ，赤塚 洋，高木隆三 |
東工大原子炉研 |
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P3-106 |
核融合ブランケット材料（溶融$LiF-PbF_2$）の適用性検討 (ii) 構造解析 |
○渡部 創1)，坂本武士1)，岡本芳浩2)，岩舘泰彦3)，赤塚 洋1)，松浦治明1) |
1)東工大原子炉研, 2)原研東海, 3)千葉大院自然 |
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プラズマの環境・生体医療技術への応用 |
|||
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P3-107 |
マイクロ波励起酸素プラズマ滅菌における窒素ガス添加の効果 |
○野中雄之1)，徐 蕾1)，寺下文恵1)，近藤浩司1)，永田 年2)，小出幸夫2)，南光正平3)，倉脇一郎4)，永津雅章1) |
1) 静大工, 2)浜松医科大, 3)ニッシン, 4)ジーマ |
|
P3-108 |
マイクロ波プラズマを用いた樹脂製包装内部の医療器具滅菌 |
○寺下文恵1)，徐 蕾1)，中 雄之1)， 二宮啓悟1)，永田 年2)， 小出幸夫2)，南光正平3)， 倉脇一郎4)，永津雅章1) |
1) 静大工, 2)浜松医科大, 3)ニッシン, 4)ジーマ |
|
P3-109 |
パルス変調マイクロ波プラズマの滅菌特性と酸素ラジカルの効果 |
○徐 蕾1)， 野中雄之1)， 寺下文恵 1)， 近藤浩司 1)，永田年 2)，小出幸夫 2)，南光正平 3)，倉脇一郎 4)，永津雅章 1) |
1) 静大工, 2)浜松医科大, 3)ニッシン, 4)ジーマ |
|
P3-110 |
酸素および水蒸気を用いた低圧高周波プラズマによる医療材料の滅菌特性 |
○林 信哉1)，佐藤三郎1)，後藤昌昭2) |
1)佐賀大理工，2)佐賀大医 |
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P3-111 |
エレクトレットフィルタの性能復活のためコロナ放電による再荷電時の殺菌効果に関する研究 |
T○UN LWIN，高島和則，桂 進司，水野 彰 |
豊橋技科大 |
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P3-112 |
高濃度オゾンによる生体材料の滅菌特性研究 |
○大西桂典，秋津哲也，辻 政雄 |
山梨大 |
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P3-113 |
非平衡プラズマ技術の医療・環境分野での応用 |
○秋津哲也1)，大川博司1)，辻政雄2)，平山けい子1)，大西正俊1)，福島金平3) |
1)山梨大医学工学総合研究部，2)山梨工業技術センター，3)ヤマトラボテック（株） |
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P3-114 |
マイクロ波励起プラズマ中における酸素ラジカルならびにＮＯβラジカルの滅菌効果 |
○伴 謙治､ 池田 司､ 秋津哲也 |
山梨大院 |
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P3-115 |
土壌処理のための高周波誘電体バリア放電オゾン生成装置開発 |
○高山正広1)，蛯原健治1)，池上知顯1)，行徳 裕2)，立花賢浩3)，坂井高正4) |
1)熊大，2)熊本県農業研究センター，3)同仁グローカル，4)くまもとテクノ産業財団 |
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P3-116 |
大気圧O$_{2}$/He混合ガス放電でのオゾン生成 |
○服部陽介,木村高志 |
名工大院工 |
|
P3-117 |
2次元レーザー誘起蛍光法によるストリーマコロナ放電下のOHラジカル密度分布計測 |
○吉田 敏章，高田 昇治，佐々木 浩一 |
名大工 |
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P3-118 |
大気圧マイクロ波プラズマトーチによるSUS基板上へのアルミナ膜生成 |
○高津裕史１），山村辰徳２），神藤正士３） |
1)静大院理 ，2)静大院電子，3)静大工 |
|
P3-119 |
非平衡プラズマと触媒を用いたディーゼル排ガス処理 |
○松井良彦，佐藤 聡，高島和則，桂 進司，水野 彰 |
豊技大エコ |
|
P3-120 |
プラズマを応用した流動床反応器における環境有害物質の高速分解 |
○松本和憲1)，A. Sanjurjo2)，P. Jayaweera2)，G. Knishnan2) and C. Colominas2) |
1)富山県大工，2)スタンフォード研 |
|
P3-121 |
液膜式プラズマ反応器を用いた気相放電による硝酸還元反応 |
○木下洋平，池田宏允，井口隆磨，高島和則，桂 進司，水野 彰 |
豊技大工 |
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P3-122 |
大気圧非平衡プラズマによる廃プラスチック表面付着物の除去 |
○新家正之1)，渡辺隆行1)，樫原潤三2)，隅田憲武2) |
1)東工大総理工，2)シャープ（株） |