プラズマ・核融合学会　専門委員会

アブレーションプラズマに関する学理と応用の融合

◆◆◆Last update is 2005.11.4◆◆◆

公開研究会「微細加工技術」

• 2005年12月19日(月) 13:00-18:00
• 九州大学ベンチャービジネスラボラトリー３階セミナー室
  交通案内：http://www.vbl.kyushu-u.ac.jp/map.html
  

プログラム

13:00-14:00
中性粒子ビームプロセスによる究極のトップダウン加工
【応用物理学会九州支部特別講演】
　　寒川 誠二（東北大学 流体科学研究所）

14:00-15:00
レーザー生成プラズマによるEUV光源の開発
　　岡田 龍雄（九州大学 システム情報科学研究院）

15:00-15:30　休憩

15:30-16:30
レーザープラズマ軟X線による無機物質のアブレーション
　　牧村哲也, 宮本久生, 内田智, 藤森隆成, 新納弘之A, 村上浩一
　　（筑波大学 電子・物理工学, A産総研光技術）

16:30-17:30
　　レーザー誘起背面湿式加工法による石英ガラスの表面微細加工
　　新納弘之，川口喜三，佐藤正健，奈良崎愛子，黒崎諒三（産総研光技術）

17:30-18:00
　　誘電泳動現象のバイオ・ナノテクノロジーへの応用
　　末廣純也（九州大学 システム情報科学研究院）

　

＊19:00頃より懇親会を予定しています．

問合せ先

名古屋大学大学院工学研究科　佐々木 浩一

九州大学大学院システム情報科学研究院　白谷 正治

siratani@ed.kyushu-u.ac.jp