プラズマ・核融合学会　専門委員会

プラズマ-物質相互作用の科学

◆◆◆Last update is 2005.10.12◆◆◆

• 主催：応用物理学会九州支部
• 共催：九州半導体イノベーション協議会
  プラズマ・核融合学会「プラズマ−物質相互作用の科学」専門委員会
  九州大学半導体ナノテクノロジーリサーチコア
• 日 時：2005年11月16日(水) 13：00〜18：00
• 会 場：九州大学21世紀交流プラザI（箱崎キャンパス理系地区，生協書籍部の上：２階）
  サイトマップ：http://www.kyushu-u.ac.jp/map/campusmap/hakozaki/hakozaki.html
  の16番の建物です．
• 参加費：無料
• 世話人：藤山　寛（長崎大学大学院生産科学研究科）

座長：藤山　寛（長崎大学）

１）13:00-13:10

藤山　寛（長崎大学大学院生産科学研究科）
「Introductory Talk」

２）13:10-13:40

堀　勝（名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻）
「45nmノードULSI用ダメージフリーLow-kエッチングプロセス」

３）13:40-14:10

浜口智志（大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター）
「層間絶縁膜エッチング表面反応機構の解析」

４）14:10-14:40

白谷正治（九州大学大学院システム情報科学）
「プラズマCVDによる階層化ナノ構造作製技術の現状と課題」

座長：白谷正治（九州大学）

５）15:00-15:30

篠原正典（長崎大学工学部）
「In-situ/real time観察によるプラズマ中の材料堆積」

６）15:30-16:00

大野哲靖（名古屋大学エコトピア科学研究所）
「磁場閉じ込め核融合装置におけるプラズマ-物質相互作用」

座長：堀　勝（名古屋大学）

７）16:00-16:30

総合討論「プラズマ−物質相互作用に関する研究ニーズとシーズについて」

８）16：30‐18：00

ポスターセッション(大学，企業)

９）交流会

応用物理学会九州支部会員大学の研究室，プラズマ・核融合学会「プラズマ−物質相互作用の科学」専門委員会メンバーの研究室，九州半導体イノベーション協議会会員企業から，広く表記テーマに関連した研究発表（Poster講演）を募集します．次世代半導体プロセスに関する企業のニーズ，大学のシーズなどの情報交換会としての位置づけを考えておりますので，積極的に申し込みくださるようお願いいたします．

• 申込み：締切を10月末とします．上記世話人まで電子メールにて申し込みください．

• 予稿集：A4用紙2枚以内（日本語or 英語）。上記世話人まで添付ファイルにてお送りください

• 締 切：10月末

• ポスターサイズ：B1 サイズ(横1,050mm×縦700mm)

＊申し込みメールには以下を記載してください。

・申し込み者氏名：
・電子メールアドレス：
・所属：
・職（学年）：
・講演題目：
・講演者名(全員，発表者にアンダーライン)：

※大学・高専からの申し込みについては講演者（学生，若手研究者）に旅費の一部を補助します．希望者は以下のアンケートに記載してください．

　旅費の補助を希望します
　　講演者名：
　　所属・職（学年）：

上記世話人まで以下の内容を電子メールにて御送信ください。

・参加申し込み者氏名：
・電子メール：
・所　属：
・職（学年）：