●●● 第15回プラズマエレクトロニクス講習会 ●●●
◆◇「プラズマの基礎と応用最前線」◆◇
ULSIからフォトニック，MEMS，ナノチューブ，
プラズマイオン注入，環境まで
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日時：2004年10月14日（木）〜15日（金）
場所；慶應義塾大学 日吉キャンパス（神奈川県横浜市）
プログラム・内容：＊10/14
(1)プラズマの生成と制御法： 進藤春雄（東海大）
(2)反応性プラズマ中の気相・表面反応：堀勝（名大）
(3)プラズマの計測・モニタリング手法： 豊田浩孝（名大）
(4)Sub-100 nmデバイスの製造最前線−プラズマ装置技術，エッチング/CVD
プロセス技術，APC（Advanced Process Control）量産技術，装置＆プロセス
設計を支援するシミュレーション技術−，ポスター発表
＊10/15
(5)フォトニック結晶とプラズマプロセス： 高橋千春（NTT-AT）
(6)MEMSとプラズマプロセス： 小野崇人（東北大）
(7)プラズマCVDによる配向カーボンナノチューブ成長：林康明（京都工繊大）
(8)プラズマイオン注入体積プロセスとその応用： 行村建（同志社大）
(9)大気圧プラズマと環境ビジネス： 葛本昌樹（三菱電機）
問合せ・申込み先：
名大エコトピア 井上 泰志 inoue@numse.nagoya-u.ac.jp
＊本講習会に関する詳しい情報は、PE分科会ホームページ
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/ をごらんください，
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