日時：2009年3月26日（木）13:00-16:30

場所：九州大学西新プラザ中会議室

プログラム

１．１３時〜１３時１０分

　　太陽電池製造用プラズマ源への要求

　　白谷正治（九大）

２．１３時１０分〜１３時４０分

　　微結晶Si薄膜超高速堆積用メソプラズマ

　　神原淳（東大）

３．１３時４０分〜１４時１０分

　　微結晶Si薄膜超高速堆積用表面波プラズマ

　　豊田浩孝（名大）

　

休　憩：２０分

４．１４時３０分〜１５時００分

　　高品質微結晶Si堆積用ICPプラズマ

　　節原裕一（阪大）

５．１５時００分〜１５時３０分

　　高品質a-Si堆積用マルチホロー放電プラズマ

　　古閑一憲（九大）

６．１５時３０分〜１６時００分

　　BN/Siヘテロ太陽電池作製用レーザ支援プラズマCVD

小松正二郎（NIMS）

７．１６時００分〜１６時３０分

　　全体討論：太陽電池製造用の理想のプラズマ源とは

　　講演者+参加者