プラズマ科学シンポジウム2001/
第18回プラズマプロセシング研究会
〜2001.1.24〜1.26 at
京都テルサ
現地実行委員長 斧 高一
(京大工)
1.はじめに |
プラズマ科学は20世紀,宇宙,核融合,光源・レーザー・粒子ビームなどの放電応用,さらに半導体プロセシングやプラズマディスプレーパネルなど多岐にわたる分野で研究活動が展開され発展してきた.プラズマ科学シンポジウム (PSS) は,多くの学協会で活動しているプラズマの基礎・応用分野の研究者・技術者が一同に会する国内では初めての試みであり,これまで各学協会に分散して展開されてきたプラズマ科学の研究活動を総合的に把握し,21世紀におけるプラズマ科学の一層の発展と新たな展開を議論し探るとともに,異分野交流のもと各学協会等におけるプラズマ科学の研究活動を一層推進することを目的として企画された.プラズマ科学シンポジウム2001は,特に21世紀最初の記念すべき会議と位置付け,プラズマ科学研究の20世紀の総括と21世紀への展望を重視した. 一方,プラズマプロセシング研究会 (SPP)
は,応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会主催で毎年1月下旬に開催され,今回で第18回目を迎える.プラズマプロセシングは,種々の薄膜材料加工を効率よく行える実用的なプロセス技術としてこの20数年で飛躍的な発展を見せ,今日,材料・マイクロエレクトロニクス分野における最も重要で不可欠な基盤技術の一つとなっている.研究会では,プロセスプラズマの物理的・化学的基礎の解明およびその高精度制御と応用技術の開発をテーマに掲げ,プラズマ物理・プラズマ化学の研究者をはじめとして,原子・分子物理,薄膜・表面の物理・化学,電子工学等の多分野の研究者が一同に会してプラズマを接点とする境界分野の検討を行なうとともに,新たな問題点の発掘や新しいプロセシングの可能性を追求することを目的としている. |
2.会議の準備 |
共催と後援については,15学協会 (日本物理学会,電気学会,電子情報通信学会,日本真空協会,電気化学会,日本化学会,日本セラミックス協会,表面技術協会,静電気学会,日本金属学会,日本鉄鋼協会,日本航空宇宙学会,地球電磁気・地球惑星圏学会,日本オゾン協会,IEEE Japan Council NPS-Plasma)より共催,ならびに2団体 (技術研究組合 超先端電子技術開発機構 (ASET),高分子学会) より後援としての参加を得て,プラズマ科学の総合的な学術講演会として開催する「プラズマ科学シンポジウム」にふさわしいものとなった.また,本会議の開催を広く周知するために,主催・共催学協会の学会誌への案内に加え,パンフレットやポスターの配布による一般講演・参加の呼びかけを実施し,さらにホームページの充実を心がけた. 本会議のスタイルは,形式的には例年のプラズマプロセシング研究会を踏襲したが,実質的内容に関しては,「プラズマ科学シンポジウム」の趣旨にふさわしく,また多くの学協会から多数の方々の参加が得られる魅力的なアレンジに苦心した.第一に,プラズマ科学の多岐にわたる基礎・応用分野の研究活動を総合的に把握し議論できるよう,総合講演,指定テーマ講演,シンポジウム講演と3種の招待講演を設け,分野が異なっても,大局的立場での総合講演から徐々に詳細な理解が得られ議論が行えることを重視した
(シンポジウム講演のみ2パラレルセッション).さらに,一般講演は全てポスターセッションとして3日間に分散し,各詳細に関して,時間にとらわれず活発な議論が沸騰することをねらった.第二に,21世紀におけるプラズマ科学の発展には,他の多くの先端技術分野と同様,有意義な産官学連携が必須であるとの認識から,新世紀のプラズマ研究における産官学連携のあり方に関して,産官学からパネリストを迎え,2日目にナイトセッションを設けてパネル討論を企画した.第三に,3日間の会期中いずれも基礎と応用分野の招待講演をバランスよく配置するとともに,日ごとに一定の分野の招待講演と一般講演とを集中させ,一日だけの参加者にとっても有意義な会議となるように考えた.1日目は基礎分野
(宇宙,核融合なども含む),2日目は半導体プロセス分野,3日目は環境および材料プロセス分野である.これは,会場をできるだけ交通至便の場所
(JR京都駅近くの京都テルサ)
に設定したこととともに,できるだけ多くの一日参加者
(特に企業からの当日参加者) を得るための方策でもあった. |
3.会議の概要 |
以下に招待講演52件の概要を示す. 総合講演
指定テーマ講演
シンポジウム講演 (2パラレル講演;
3つの大分類,計12テーマ,各テーマ3_4件の講演)
パネルディスカッション (ナイトセッション)
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4.おわりに |
次回のプラズマ科学シンポジウムは,3年後の2004年に,プラズマ・核融合学会が主担当となり開催される予定である.といっても3年後まで待つ必要はなく,本会議の中で生まれた新しい発想や交流・連携が発展して,学術的・実用的な成果や,新しい研究開発プロジェクトのスタートなどに結びつけば,本会議の準備に当たった一員として喜ばしい限りである. 最後に,本会議の趣旨に賛同して顧問,招待講演をお引き受けいただいた先生方,企画・実行にご尽力いただいた関係各位,一般講演・参加をいただいた各位,および寄付・広告などでご支援いただいた団体・企業各位に深く感謝いたします. (2001年3月23日 受理) |
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1) 本会議のプロシーディングス
(A4版,英文,全800ページ) をご希望の方は,
筆者までお問い合わせ下さい.
e-mail:
ono@kuaero.kyoto-u.ac.jp
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(PDF書類88 K) |