プラズマ・核融合学会

最先端のプラズマ応用技術を解説！

本書は、半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について，基礎から応用まで解説します．超微細エッチングやプラズマCVDによる成膜，カーボンナノチューブをはじめとする各種ナノ材料・構造の創製など，とくにナノ・アトムテクノロジー領域での活用が広がっていることを背景に，最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える内容となっています

第1章　プラズマ技術の基礎
第2章　プラズマナノプロセスの物理的基礎
第3章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
第4章　ナノエッチング技術
第5章　ナノ材料の基板成長と構造制御
第6章　ナノ粒子の気相合成
第7章　計測技術とプロセス解析

畠山力三（東北大学名誉教授） 斧　高一（京都大学名誉教授） 藤山　寛(（長崎大学名誉教授） 粟野祐二（慶應義塾大学） 林 康明（京都工芸繊維大学）

藤山　寛（長崎大学名誉教授）1.1節， 佐藤徳芳（東北大学名誉教授）1.2節， 飯塚　哲（東北大学）2.1節， 渡辺征夫（九州大学名誉教授）2.2節， 白藤　立（大阪市立大学）第3章， 斧　高一（京都大学名誉教授）第4章， 江利口浩二（京都大学）第4章， 鷹尾祥典（横浜国立大学）第4章， 畠山力三（東北大学名誉教授）第5章，6.1.2項， 金子俊郎（東北大学）第5章，6.1.2項， 加藤俊顕（東北大学）第5章，6.1.2項， 三重野哲（静岡大学）6.1.1項， 林 康明（京都工芸繊維大学）6.1.1項，6.3節，7.3節， 白谷正治（九州大学）6.2節， 高橋和生（京都工芸繊維大学）7.1.1項， 佐々木浩一（北海道大学）7.1.2項， 石川健治（名古屋大学）7.2節， 堀　勝（名古屋大学）7.2節