『プラズマによるナノ材料・ナノデバイス創成の深化』

2017年11月20日(月)13:00-16:40

PLASMA2017 F会場(7階701号室)

プラズマを⽤いたナノ材料・ナノデバイスの創成への要求は年々⾼度 化しており、新たなシーズ技術を次々と出してこの要求に答える必要があります。本 Workshop では、討論に重きを置いて『プラズマによるナノ材料・ナノデバイス 創成の深化』の⽅向性を議論します。




プログラム


13:00-13:10 1. 趣旨説明白谷正治(九大)
13:10-13:402. DCアーク放電を用いた多機能ナノ微粒子合成技術の深化永津雅章(静岡大)
13:40-14:10 3. 反応性ダストプラズマプロセスの開発とナノ粒子デバイスへの応用内田儀一郎(阪大)

14:10-14:40 4. 半導体デバイス製造プラズマエッチング技術の深化関根 誠(名大)
(14:40-15:10 休 憩)
15:10-15:40 5 メゾプラズマナノクラスターを利用したエピタキシャルブリッジング神原 淳(東大)
15:40-16:10 6. 反応性プラズマ中ナノ粒子成長ゆらぎ制御の深化古閑一憲(九大)
16:10-16:407. フレキサブルMEMSの創製に向けたプラズマナノプロセスの深化寺嶋和夫1,2、伊藤剛仁1,2、後藤 拓1,2、妻木正尚1、榊原教貴1,2 
(東大・新領域1、産総研・OIL2)

*座長:前半 白谷、後半 内田

日 時:2017年11月20日(月)13:00-16:40
会 場:姫路商工会議所 F会場 7階701号室
主 催:プラズマコンファレンス組織委員会
講演時間=講演15分+議論15分
参加費:無料
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お問い合わせ:PLASMA2017事務局

名古屋市千種区内山3-1-1桜通内山ビル4F

プラズマ・核融合学会事務局内

Tel 052-735-3185

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[最終更新日:201710.30]