専門講習会開催にあたって

 現在プラズマは,半導体・太陽電池製造,また多機能性を発現する表面改質など様々な産業分野で幅広く利用されています(プラズマプロセス)。一方で,同じ装置,同じ外部パラメータ(電力,ガス圧など)で製造された製品が同じ特性を示さないことが多く見られます。これは,外部パラメータが同じであっても,装置壁の変化などにより,生成されるプラズマの特性が異なっていることに起因しています。このため,プロセスプラズマの診断は,品質の管理や装置内部で起こっている現象を理解するためにも必要不可欠です。

 一方,多くのプラズマ診断装置が市販されています。しかし,その基本原理と適用限界に関する理解が不足しているために,取得した診断データの信頼性に疑念を持たれていることも多いと思います。

 本専門講習会では、プラズマを応用して製品を製造されている企業関係者,また,プラズマを用いた研究を実施している大学・研究機関の技術者・研究者を対象に、プラズマ診断(モニタリング)として重要なプローブ計測,分光計測,粒子計測の基礎を,実際の応用例を例示しながら,詳しく解説します。プラズマ診断・モニタリングの基礎を学習し適切なプラズマ診断装置を導入されたい方,さらにプラズマ・核融合分野の学生の皆さんにもプラズマ診断の基礎技術と実際の適用を学ぶ良い機会となる講習会です。多くの方の参加を御願いいたします。

参加申し込み

・申込期限:2018年1月11日(木)
 (定員に達し次第締め切ります)
・定員:60名程度
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