電子デバイス用材料の作製・加工において、プラズマプロセスは大きな役割を担ってきました。今や、ナノサイズでデバイスの寸法を制御する時代へと移りつつあり、プラズマがさらに重要な役割を果たすことが期待されています。ナノ電子デバイスを作製する技術として、一括して作製するトップダウンの方法と、個々の材料を組み上げて作製するボトムアップの方法があります。本専門講習会ではこれら両者の観点から、主にデバイスを専門とする企業・大学・研究機関の技術者・研究者を対象に、最先端のプラズマ技術を分り易く講習します。また、最近話題となっているカーボンナノチューブやグラフェンの作製と応用や計測技術についても紹介します。
　電子デバイス分野だけでなくプラズマ・核融合分野の研究者・学生にも役立つ講習会です。多数のご参加をお待ちしております。